DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

オートクレーター 簡易膜厚測定器 純国産(日本製)ナノテック製

各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。

オートクレーター 簡易膜厚測定器 純国産


※写真のアクリルカバーはオプションです。

オートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定する試験機です。

試料調整が不要

断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。

多層膜の評価が可能

薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。

適用事例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜

この試験機は、研磨痕の測長した結果を元に、
ISO20423 Determination of coating thickness by crater grinding method に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。 なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。

測定原理 及び 仕様
はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 次に、作成された研磨痕を観察し、
上図のX とY の距離を測長します。
 

測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。

●仕様
◆シャフト回転速度:100 ~ 3,000 rpm
◆設定可能な回転時間: 1 秒 ~ 60 分
◆最大試料サイズ: φ40mm

※オプションで、アクリルカバーをつけることができます。

消耗品

ダイヤモンドスラリーとボール

日本製ボールSUJ2材 φ20mm
日本製ボールSUJ2材 φ30mm
ダイヤモンドスラリー 粒径1.0μm(100cc)

※純国産(日本製)ナノテック製

オートクレーター測定実施例

TiNコーティングテストピース

• ボール直径.:30 mm
• モーター速度:400 rpm
• テスト時間:30 sec
• スラリーの種類:ダイヤモンドスラリー1.0 μm

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