DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

DLC Analyzer 光学的DLC分類試験機 (分光エリプソメーター)

各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。

DLC Analyzer 自動薄膜計測装置(分光エリプソメータ)

spectroscopic ellipsometer

プッシュボタン感覚で、1nm~15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。

波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数(屈折率、消衰係数)などの物質特性を精度良く測定します。

誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。

イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。

装置仕様

測定方式 液晶変調方式
光源 ハロゲンランプおよび青色LED
波長範囲 440nm-1000nm
分光器 迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ(分解能:3nm以下)
検出器 高感度・高安定リニアCCD(2048ピクセル)
入射角度 70度固定 (66度固定、61.5度固定も選択可)
スポットサイズ 500μm X 500μm; 250μm X 500μm;
( 70度入 射時) 250μm X 250μm; 70μm X 250μm;
100μm X 100μm; 50μm X 60μm;
25μm X 60μm  ※いずれも長方形
サンプルステージ XYZ電動可変、真空吸着機構
X軸:max. 200mm Y軸:max. 200mm Z軸:max. 40mm
サンプル観察系 イメージングシステム MyAutoView
 
– ソフトウェア上にてスポット位置確認
 
-カラー 2次元CCD
 
– 照射範囲:2mm X 6mm@70度入射
操作PC デスクトップPC、TFTモニタ
ソフトウェア 分光エリプソメータ測定およびデータ解析用 DeltaPsi2
装置寸法(本体) W 760mm X D 572mm X H 592mm

オプション

光源 Xeランプユニット (100μm以下のスポット使用時に推奨)
アクセサリ <サンプルセル>   液体測定用、電気化学用
<サンプルステージ/ホルダ> 透過測定用、回転ステージ、曲面サンプル用
     
プラスチックフィルム用、マルチサンプラー

必要ユーティリティ

電源 AC100V±5%未満 (標準消費電力:200W)

メーカー:堀場製作所
ナノテックはDLC評価試験装置の販売店です。

DLC Analyzer用のDLC基準片の販売を行なっております。

関連論文

DLCの光学特性と硬さの相関について、 「Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol. 7, No. 2, 2013」に論文が掲載されました。

タイトル:「Correlation between Optical Properties and Hardness of Diamond-Like Carbon Films」

リンク先:https://www.jstage.jst.go.jp/article/jmmp/7/2/7_187/_pdf

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