DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

表面分析

簡易膜厚測定器により、膜厚の測定を行います。

電気的特性試験

物質の抵抗

●電気抵抗

物体に印加される電圧と流れる電流の比。電流の流れにくさを示す。

●体積低効率

抵抗Rは物体の長さLに比例し、断面積Aに反比例する

 
このときの比例定数pvを体積低効率といい、物質に固有の値を示す。
[Ωm]で示す場合もある。

●表面抵抗率(シート抵抗・表面抵抗)[Ω/□]

体積抵抗率の式において、断面積を厚さtと幅Wに分解すると

体積抵抗率を厚さで除したものを表面抵抗率と定義する。
次元は電気抵抗と等しくなるため、区別のために単位に「毎スクウェア」をつける。

薄膜の抵抗測定法

低抵抗領域(~10Ω)と高抵抗領域(10Ω~)で異なる測定法を用いる。

抵抗の範囲 低抵抗領域 高抵抗領域
測定法 定電流印加法 低電圧印加法
原理 4探針法 2重リング法
測定機器 ロレスタ-GP ハイレスタ-UP
測定に適した回路

R=V/I より、電圧および電流を正確に測定することが必要となる。

・R << RVならば、電圧計に流れる電流は、
無視でき、正確な電流が測定できる。
・定電流源を接続することで、低抵抗測定
に適した回路となる。
・R >> Raならば、電流計にかかる電圧は
無視でき、正確な電圧が測定できる。
・低電圧源接続することで、高抵抗測定
に適した回路となる。

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