DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

DLC分類

タイプⅠ(ta -C)

アーク法
HiPIMS法

 

タイプⅡ(ta -C:H)

イオン化蒸着法(高硬度)

 

タイプⅢ(a-C)

HiPIMS法
スパッタリング法

 

タイプⅣ(a-C:H)

イオン化蒸着法
プラズマCVD

 

タイプⅤ(GLC)

スパッタリング法

 

タイプⅥ(PLC)

プラズマCVD

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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