DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

コーティング装置 DLC剥離処理装置

真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、付加価値を高める装置を製造。ユーザーのニーズに合う多種、 多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います。

DLC剥離処理装置

DLC膜及び中間層膜を弊社独自のプラズマ技術によって剥離・洗浄が可能な専用モデル。

DLC膜の代表的な特徴でもある、成膜⇔剥離を繰り返し行えるリサイクル機能の剥離工程を担当する重要な装置。

DLC剥離処理装置 仕様

 

機種 NAPE-500
真空槽(mm)
500W×500D×600H
有効エリア(mm)
標準φ300×200H(特注改造400W×400D×500H)
基板ホルダー
固定ラック型(製品形状に応じて特注製作可能)
搭載可能システム
直流プラズマ電源(標準)、高周波プラズマ電源、
高速パルス電源、NANOTECイオン源(イオン化蒸着源)、
到達圧力
1.4Pa以下(ターボポンプ使用時 6.7×10-3 Pa以下)
基板加熱機構
オプション(シースヒーター)
装置制御
自動運転(搭載機能によって一部手動)
排気系
メカニカルブースターポンプ + ロータリーポンプ(標準)
(※搭載機能によってターボポンプ使用)
所要電力
3φ 200V 10kVA~
設置面積(M)
2.0W×2.5D×2.5H
冷却水
2kgf/cm2  20L/min
圧縮空気
5kgf/cm2  以上

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