DLCコーティング・表面処理 薄膜 評価試験のナノテック株式会社

DLCコーティング DLC薄膜装置 薄膜評価試験機 表面分析のナノテック株式会社

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表面分析

ナノテック社内にある表面分析センターの実験装置・評価試験機器を用いてお客様と共に実用を前提とした研究・試験を提供しています。  お問い合わせはこちらまで TEL: 04-7135-6152

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表面分析のご案内

表面の機械的物性評価は薄膜プロセスのキーポイントです。

ナノテックでは、豊富な経験と高い技術力により、お客様のニーズにあった分析サービスを提供します。機械的物性評価の分析サービスを是非一度ご利用下さい。

試験室

機械的物性評価

スクラッチ試験による密着性、傷つき易さの評価

摩擦磨耗試験による摩擦係数、耐摩耗性の評価

ナノインデンテーション法による硬度、ヤング率の評価

カロテストによる簡易膜厚測定

微弱発光測定

抗酸化能測定

元素分析・状態分析

RBS/HFSによる元素の定性・定量分析

ラマン分光による状態分析

XRRによる膜密度、膜厚測定

ご案内

ご依頼の流れ

Q&A

担当者からのメッセージ

ナノテックでは、豊富な経験と高い技術力により、お客様のニーズにあった分析サービスを提供します。ナノテックの分析サービスを是非一度ご利用下さい。

表面分析センターでは「JIS-R-1613:2010 ファインセラミックスのボールオンディスク法による摩耗試験(ただし8.1 b)と8.2 b)を除く)」の分野で国際的な試験所認定であるISO/IEC17025 を取得しております。

 

機械的物性評価

摩擦摩耗試験

準拠工業規格:JIS R 1613,ASTM G99,ASTM G133


平面試料(材料・薄膜)の摩擦摩耗試験(水中・油中・各種雰囲気可能)
高温摩擦摩耗試験(〜800℃)、超低荷重摩擦摩耗試験

試験測定例:
硬質薄膜の特性評価耐久寿命評価摩擦摩耗試験

摩擦磨耗試験について



スクラッチ試験

準拠工業規格:ISO20502,ASTM D 7187-05


薄膜の密着力測定、セラミック・金属材料のスクラッチ耐性
超薄膜、有機薄膜などの密着力測定、プラスチック・塗装膜のスクラッチ耐性

試験測定例:
硬質薄膜の評価押し込み試験硬質薄膜のスクラッチ試験マイクロスクラッチテスター
塗装膜の密着力評価機械的特性評価ナノスクラッチ評価

スクラッチ試験について



硬さ試験

準拠工業規格:ISO14577


超薄膜・表面の硬さ・ヤング率測定、CMC測定

試験測定例:
薄膜の評価品質管理押し込み試験

硬さ試験について



元素分析・状態分析

RBS/HFSによる元素の定性・定量分析


RBS分析、HFS分析を行うことで、薄膜の深さ方向の組成を分析することができます。

RBS/HFSによる元素の定性・定量分析について



ラマン分光による状態分析


ラマン分光法による評価方法により結晶性などの構造を求めることができます。

ラマン分光による状態分析について



XRRによる膜密度、膜厚測定


XRR測定により、数nm~数百nmの薄膜の膜厚と密度を分析することができます。

XRRによる膜密度、膜厚測定について



膜厚測定

準拠工業規格:EN1071-2


銅球による研削痕の大きさを測定

膜厚測定について



微弱発光測定

抗酸化能測定

 

抗酸化能測定、スーパーオキシドアニオンラジカル、ヒドロキシラジカルの高感度測定、貪食白血球の貪食作用の測定

抗酸化能測定について



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依頼の流れ
Q&A 試験室について





表面分析の測定例

試験例一覧

・ナノインデンテーションテスター(NHT)によるMoS2膜の機械的物性評価
・マイクロスクラッチテスター(MST)による自動車のバンパーのペイントの密着性評価
・レベテストスクラッチテスター(RST)によるロックウェル押し込み試験
・レベテストスクラッチテスター(RST)による硬質薄膜の機械的物性評価

・マイクロスクラッチテスター(MST)によるビッカース押し込み試験
・カロウェア(CAW)による硬質薄膜の耐摩耗性評価
・ナノインデンテーションテスター(NHT)によるICボンディングパッドの品質管理
・レベテストスクラッチテスター(RST)による硬質薄膜の機械的物性評価

・ナノインデンテーションテスター(NHT)のSFM
・マイクロスクラッチテスター(MST)の低荷重での分解能の改良
・摩擦摩耗試験機(TRB)による硬質薄膜の機械的物性評価

潤滑環境下での研究のためのピンオンディスク摩擦摩耗試験機の改良

・粒径の小さいスラリーを用いたカロテストによるコーティングの評価
・NHT/SFMによる被膜組織の機械的物性評価

・マイクロスクラッチテスター(MST)によるSiO2層のスクラッチ耐性評価
・二硫化モリブデン合金の特性評価のための真空摩擦摩耗試験機
・NHT/SFMによるシリコン材料の機械的物性評価

・ナノスクラッチテスター(NST)による超薄膜の機械的物性評価
・トライボメーター(TRB)によるシリコンウェハ上の微小構造物の比較
・NHT/SFMによる圧子先端の欠損調査

・カロテスト現場君
・マイクロインデンテーションテスターによる脆性材料の破壊靱性評価
・プラスチックチケットの往復動摩擦摩耗試験
・低荷重マイクロスクラッチテスター(MST)によるポリマー薄膜の特性評価

・マイクロスクラッチテスターのスウィング機能を用いてのスクラッチ試験
・NHT/SFMによるCr2O3薄膜の機械的物性調査
・様々なサイズのサンプルの膜厚を測定することが可能な『カロテスト現場くん』

・SFM用iOCモジュールによる高精度な摩擦力の比較
・NHT/SFMによる摩擦試験による転移被膜の機械的物性評価

・ナノインデンテーション法(球圧子使用)を用いての応力−歪み特性の評価
・ナノインデンテーションテスター(NHT)を用いてのIC用金ボンディングワイヤの機械的物性の評価
・ナノスクラッチテスター(NST)を用いての磁気ハードディスクの特性評価

マイクロエレクトロニクスへの応用

・ナノスクラッチテスター(NST)を用いてのマイクロシステム用アンチスティクション被膜の特性評価
・ナノインデンテーションテスター(NHT)を用いてのICの特性評価
・マイクロスリット材料にコーティングされた反射膜のナノスクラッチテスター(NST)での品質管理

・マイクロスクラッチテスター(MST)における圧子先端径の大きさによる臨界荷重の影響
・トライボメーター(TRB)によるポリマー上にコーティングされたTiNの密着性評価
・ナノスクラッチテスター(NST)における誘電性薄膜の評価

・窒化された316/ステンレスの硬度の深さ方向の変化
・レベテストスクラッチテスター(RST)によるスクラッチ試験で得られた典型的な破壊モード
・高温トライボメーター(THT)による自動車

ポリマー膜の特性

・ナノスクラッチテスター(NST)、トライボメーター(TRB)を用いてのミニディスク樹脂皮膜品質管理
・ポリマー系自動車皮膜のためのリファレンス試験として開発されたナノスクラッチ法
・マイクロスクラッチテスター(MST)を用いてのマニュキュア液の破壊特性

自動車への用途

バイオメディカルへの用途

・リン酸カルシウム皮膜のマイクロレンジ機械的物性評価
・コンタクトレンズ・歯科材料・インプラント・骨組織etcの機械的物性評価
・バイオメディカル用途である酸化チタンの特性

機械的評価についての規格概要

・インデンテーション法規格
・摩擦摩耗試験規格
・スクラッチ試験規格

インデンテーション試験の新しいアプリケーション

・高温・低温下でのインデンテーション試験
・Dynamic Mechanical Analysis(DMA)

ナノトライボメータ(超微小荷重摩擦摩耗試験機)のアプリケーション

・超低荷重摩擦摩耗試験機を用いての潤滑材の調査
・Micro electromechanical systems (MEMS)材料の密着性と摩耗特性の調査

CSM社製 ナノインデンテーションテスター(NHT)を用いた衝撃試験

・衝撃試験による窒化珪素皮膜の表面破壊抵抗の調査

マイクロ/ナノインデンテーションテスター (MHT/NHT)を用いてのクリープ特性の調査

計装化押込み硬さ試験(インデンテーション法)における表面粗さの影響

骨粗鬆症により変質した骨組織とその治療による影響

車に塗布されたクリアコートのスクラッチ試験における圧子先端曲率半径の影響

連続荷重スクラッチテストでのロックウェル圧子の先端形状の影響

ダイヤモンド膜(UNCD)の機械的特性の核生成密度による影響

計装化押込み硬さ試験(インデンテーション法)とスクラッチ試験による溶射コーティングの機械的物性評価

セメント系材料の機械的特性

 

(1)EN1071-2: Advanced technical ceramics- Methods of test for ceramic coatings- Determination of coating thickness by the crater grinding method.

(2)ISO20502 Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics)−Determination of adhesion of ceramic coatings by scratch testing , (2005).

(3)ASTM D7187-05 Standard Test Method for Evaluation of SCRATCH Resistance of Polymeric Coatings and Plastics Using an Instrumented SCRATCH Machine

(4)DIN 50 324; Testing of friction and wear.

(5)ASTM G 99 - 95a:Standard test method for wear testing with a Pin on-Disk apparatus.

(6)ASTM G 133 - 95: Standard test method for linearly reciprocating ball-on-flat sliding wear.

(7)ISO 14577: Metallic materials - Instrumented indentation test for hardness and materials parameters, ISO Central Secretariat,Rue de Varembe 1, 1211 Geneva, Switzerland.

ナノテック株式会社 電話番号:04-7135-6111(代)