硬さ試験（ナノインデンテーション法）の基本原理

ナノインデンテーション法は、圧子の押し込み荷重と深さを連続的に測定し、顕微鏡像ではなく、押し込み深さと荷重の曲線から硬さ(インデンテーションハードネス)やヤング率を算出する方法です。

インデンテーションハードネスは、投影接触面積を最大荷重で除した値です。接触投影面積は、標準片を使用して実際に使用する圧子ごとに補正曲線を作成し、そこから算出します。

使用試験機

測定事例

ナノインデンテーションテスターによるICボンディングパッドの品質管理