ラマン分光分析

物質にある振動数ν0の光を照射すると、その光と同じ振動数の光（レイリー散乱光）と、入射光とは振動数が異なるν0±νiの非常に弱い光（ラマン散乱光）が散乱される。振動数の差±νiは原子の質量、立体配置、原子間結合力によって決まる。ラマン分光法とはそのラマン散乱光のピーク位置・半値幅や強度から個体の構造や結晶状態に関する情報が得ることのできる評価方法である。

DLC薄膜はグラファイト構造（sp2結合）とダイヤモンド構造（sp3）が混在するアモルファスな薄膜である。DLC薄膜は成膜条件により膜質が大きく異なるため、その構造を分析することが重要である。

DLC薄膜のラマン分析ではグラファイトに起因するGバンドと結晶構造の不規則性や微結晶性に起因するDバンドにピークが観察され、その強度比から結晶性などの構造を求めることが出来る。