スクラッチ試験

スクラッチ試験の基本原理

スクラッチ試験は、テーブルの上に固定した試料にダイヤモンド圧子を密着させ、徐々に荷重を加えていき、同時にテーブルを一定の速度で移動させることで膜の密着性を評価する方法です。

垂直荷重(Fn)とテーブル移動により生じる摩擦力(Ft)により、薄膜にクラック、チッピング、剥離などの変化が発生します。

そのスクラッチ痕の変形ポイントを光学顕微鏡での観察により決定し、そのポイントでの垂直荷重を臨界荷重として、試料間での比較を行います。薄膜の密着性の評価以外では、バルクや樹脂などの表面の傷つきやすさの評価にも用います。

使用試験機

試験機名	説明
Revetest Scratch Tester	荷重レンジ:0.9～200N おもにミクロンオーダーの硬質薄膜の密着性評価に使用
Micro Scratch Tester	荷重レンジ:0.1～30N 数百nmの薄膜の密着性評価、表面の傷つきやすさの評価に使用
Nano Scratch Tester	荷重レンジ:0.02～1000mN おもにナノオーダーの薄膜の密着性評価、表面の傷つきやすさの評価に使用