XRR測定について

X線反射率測定法(X-ray Reflectivity : XRR)について

XRR測定により、数nm~数百nmの薄膜の膜厚と密度を分析することができます。

・XRR測定原理
薄膜に極浅い角度でX線を照射すると、薄膜表面でX線は全反射します。そこからX線の入射角を徐々に変化させると、X線は薄膜内部へ侵入し各界面(多層膜の層と層の界面や、膜と基材の界面)で反射します。X線が薄膜内部へ侵入し始める角度を臨界角と呼び、この臨界角から薄膜表面の密度を求めることができます。

入射角を変えながらX線を照射すると、薄膜内部から反射したX線が干渉しXRRのチャートに振動があらわれます。この振動周期は膜厚に依存し、振動の振幅は層の密度に依存します。

得られたXRRチャートに理論モデルをフィッティングさせることにより、多層膜の膜厚と密度を求めることができます。