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硬質薄膜、有機薄膜、バルクの硬度測定、ヤング率測定

ナノインデンテーテョン法による薄膜の硬さ、ヤング率の測定を可能にした世界最高精度の試験機です。通常のNHTを超える高精度の荷重変位分解能と独自の測定方法の採用により、測定安定性に優れた試験機となっています。特にそのヘッド部をガラス製にし特別な基板を作成することで、温度ドリフトは1ppm/℃のレートにすることができます。

ナノインデンテーション法による薄膜の硬さ、ヤング率の測定を最新のマイクロメカニズム技術によって可能にした画期的な試験機です。標準装備の光学顕微鏡の画像から、任意のポイントを測定できます。オプションの原子間力顕微鏡(AFM)によって圧痕部の押し込み前後の高倍率での観察が可能です。この測定方法はISO14577に準拠しています。

硬質薄膜から最大押し込み深さ200μmにより厚みのあるポリマー膜、そしてバルク材までの広範囲な品質評価が可能な複合測定能力を持っています。

Micro Scratch Tester の基本測定機能に Micro Hardness Tester の機能を併せ持った画期的な測定機です。微小荷重領域で測定部位の僅かな変位でも大きなデータ変動として現れることがあり、これらの問題を避けるために2種類の測定を1つのモジュールにまとめ、硬さと密着性測定を可能にしました。
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