ナノテックは、スイスCSM Instruments SA 社製の各種試験機の日本総代理店として試験機の販売・アフターサービス・受託測定を行っています。
Revetest Scratch Testerの姉妹機として、AEセンサー、摩擦力センサー、押し込み深さセンサー、光学顕微鏡を標準装備し、PCベースで高精度な測定が可能です。
オプション
摩擦力測定テーブル
振動印加モジュール
各種圧子およびボールホルダー
ビッカース圧子、ベルコビッチ圧子、ヌープ圧子
ウエハーホルダー(6インチ、8インチ、12インチ用)
サンプル加熱システム
原子間力顕微鏡（AFM）
三次元表面測定機（CON）
用途
TiN,TiC,VC,DLC,Al2O3,硬質クロムメッキ,無電解ニッケルメッキ などの密着力評価
バルク材、有機膜の傷つきやすさの評価
仕様
適用膜厚 |
0.1〜1μm ※1 |
|---|---|
取得データ |
AE，摩擦力，押し込み深さ，光学顕微鏡 |
最大垂直荷重 |
30N（荷重分解能100μN） |
スクラッチ速度 |
0.4〜600mm /min |
推奨試料寸法 |
49×49×15t 以下 ※2 |
解析システム |
PCデータ収集解析システム |
※仕様は予告なしに変更される場合があります。 |
|
※1 膜種により変わる場合があります
※2 詳しくはご相談ください
Copyright ©2007-2009 Nanotec Corporation All rights reserved.
