ナノテックは、スイスCSM Instruments SA 社製の各種試験機の日本総代理店として試験機の販売・アフターサービス・受託測定を行っています。
独自のダブルカンチレバー方式により、500nm以下の薄膜の測定が可能なスクラッチ試験機です。3種類のカンチレバーを使い分けることによって、最大1Nまでの垂直荷重を負荷することが可能です。密着力測定、摩擦力、押し込み深さに加え、超低荷重ロードセンサーとフィードバック機構により曲面での測定も可能な画期的な試験機です。
オプション
高分解能摩擦力測定テーブル200mNまで（荷重分解能0.3μN）
ウエハーホルダー(6インチ、8インチ、12インチ用)
原子間力顕微鏡（AFM）
三次元表面測定機（CON）
用途
1μ以下の薄膜の密着力の評価
有機膜やバルク材の傷つきやすさの評価
仕様
| ハイレソリューション カンチレバー |
スタンダード カンチレバー |
ハイロート カンチレバー |
|
適用膜厚 |
1μm | ||
取得データ |
摩擦力，押し込み深さ | ||
最大垂直荷重 |
10mN | 100mN | 1N |
荷重分解能 |
0.15μN | 1.5μN | 15μN |
スクラッチ速度 |
0.4〜600mm /min | ||
推奨試料寸法 |
49×49×15t またはφ64以下 ※1 | ||
摩擦力測定テーブル |
標準タイプ：1Nまで（荷重分解能6μN） |
||
解析システム |
PCデータ収集解析システム | ||
※仕様は予告なしに変更される場合があります。 |
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※1 詳しくはご相談ください
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