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コーティング装置　小型DLC成膜実験装置

真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、付加価値を高める装置を製造。ユーザーのニーズに合う多種、 多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います。

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小型DLC成膜実験装置

小型DLC成膜実験装置
弊社のDLC成膜技術をベースに、あらゆる研究開発を目的とする御客様からの要求にお応え出来るように開発された、DLC成膜実験機の最新モデル。コンパクト設計ではありながら、PSII電源標準装備や高周波スパッタ源等を追加可能で、大型生産機と同様の複合成膜も一台で実験が可能。

 

小型DLC成膜実験装置 仕様

機種
NPS-330
真空槽(mm)
330W×330D×410H
有効エリア(mm)
φ150×150L（スパッタリング搭載時は※110L）
基板ホルダー
自公転式（製品形状に応じて特注製作可能）
搭載可能システム
 
PSII電源（標準）、DLCイオン源（イオン化蒸着源）、スパッタリング電源、DLC剥離用電源
到達圧力
6.7×10-4 Pa以下
排気速度
6.7×10-3 Pa以下まで30分以内
基板加熱機構
オプション（シースヒーター）
基板バイアス
MAX 5kV　250mA　0.2〜2ｋＨｚ　DUTY5〜50％　
装置制御
排気運転は自動、その他、成膜プロセスは手動
排気系
ターボ分子ポンプ ＋ ロータリーポンプ
所要電力
3φ 200V 10ｋVA〜
設置面積（Ｍ）
2.5W×2.5D×2.0H
冷却水
2kgf／cm2 　20L／min
圧縮空気
5kgf／cm2 　以上

 

ナノテック株式会社　電話番号：04-7135-6111（代）