光学用 ICF　UV吸収・赤外透過型

可視光・赤外域透過,消衰係数低下,耐摩耗性

各種ドーピング技術により、紫外線を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることが可能になりました。赤外域では従来品の1/2程度まで消衰係数の低下を実現しました。

分光エリプソメトリの測定結果

分光エリプソメトリの測定結果を下図に示します。

データは石英ガラス上の結果です。試料のサイズ、材質によって違いがあります。

横軸に波長、縦軸に消衰係数の関係式を下記に示します。

従来のDLCと比べて、赤外域での透過性を向上させました。各種光学用フィルターなどへの耐摩耗性を兼ね揃えた用途に応用できます。

バンドギャップも0.8〜2.2eVまで制御可能であるため、光センサーなどへの応用も可能です。

用途

各種ガラス基板上保護膜

光学用各種基板

光センサー

光学用フィルター

仕様

硬度	800〜1,800HV（ナノインデンテーション）
膜厚	0.05〜0.3μm
摩擦係数	0.1〜0.25（ボールオンディスク法）
※中間層を成膜する場合は、吸収波長域は変化します。