黄綬褒章

DLC（ダイヤモンドライクカーボン）薄膜製造装置の発明考案に精励していることにより、黄綬褒章を受賞しました。

業績

従来、金型、工具、機械部品の耐久性向上を目的にTiN等の硬質薄膜が利用されていた。しかし、これらの薄膜は、高硬度であるが摩擦係数が高く、表面粗さも粗いために相手材を摩耗させる等の問題があった。また、従来のダイヤモンドライクカーボン（Diamond-Like Carbon：DLC）薄膜製造装置は、イオン電流の不安定化、板状陽極の影、不均一かつ低密着性の膜質、基板冷却機構による低生産性などが問題になり実用化に至らなかった。

そこで、本発明はイオン源の機構を銃（ガン）形状にし、各電極の配置と電位を工夫したDLC薄膜製造装置を発明した。本発明により安定したプラズマ生成が行え、基板の冷却機構も不必要にしたために大面積に均質で密着性に優れるDLC成膜を実用化した。

また、本発明によるDLC薄膜は表面が非常に平滑であり、低摩擦係数と低相手攻撃性、高硬度を合わせ持つため部材に成膜することで、その寿命を飛躍的に向上させた。非球面レンズ用金型、アルミ成形用金型、断裁刃、各種機械部品、半導体製造工程に利用され生産コストの低減や省エネ化を実現した。現在では、これら各種製造業の基盤技術となっている。