表面分析
簡易抵抗測定器により、抵抗の測定を行います。
電気的特性試験
■物質の抵抗
●電気抵抗
物体に印加される電圧と流れる電流の比。電流の流れにくさを示す。
●体積低効率
抵抗Rは物体の長さLに比例し、断面積Aに反比例する
このときの比例定数pvを体積低効率といい、物質に固有の値を示す。
[Ωm]で示す場合もある。
●表面抵抗率(シート抵抗・表面抵抗)[Ω/□]
体積抵抗率の式において、断面積を厚さtと幅Wに分解すると
体積抵抗率を厚さで除したものを表面抵抗率と定義する。
次元は電気抵抗と等しくなるため、区別のために単位に「毎スクウェア」をつける。
薄膜の抵抗測定法
低抵抗領域(~106Ω)と高抵抗領域(106Ω~)で異なる測定法を用いる。
抵抗の範囲 | 低抵抗領域 | 高抵抗領域 |
測定法 | 定電流印加法 | 低電圧印加法 |
原理 | 4探針法 | 2重リング法 |
測定機器 | ロレスタ-GP | ハイレスタ-UP |
測定に適した回路
R=V/I より、電圧および電流を正確に測定することが必要となる。
・R << RVならば、電圧計に流れる電流は、 無視でき、正確な電流が測定できる。 ・定電流源を接続することで、低抵抗測定 に適した回路となる。 |
・R >> Raならば、電流計にかかる電圧は 無視でき、正確な電圧が測定できる。 ・低電圧源接続することで、高抵抗測定 に適した回路となる。 |