DLC膜及び中間層膜を弊社独自のプラズマ技術によって剥離・洗浄が可能な専用モデル。
DLC膜の代表的な特徴でもある、成膜⇔剥離を繰り返し行えるリサイクル機能の剥離工程を担当する重要な装置。
装置仕様
| 機種 | NAPE-500 |
|---|---|
| 真空槽(mm) | 500W×500D×600H |
| 有効エリア(mm) | 標準φ300×200H（特注改造400W×400D×500H） |
| 基板ホルダー | 固定ラック型（製品形状に応じて特注製作可能） |
| 搭載可能システム | 直流プラズマ電源（標準）、高周波プラズマ電源、 高速パルス電源、NANOTECイオン源（イオン化蒸着源）、 |
| 到達圧力 | 1.4Pa以下（ターボポンプ使用時 6.7×10-3 Pa以下） |
| 基板加熱機構 | オプション（シースヒーター） |
| 装置制御 | 自動運転（搭載機能によって一部手動） |
| 排気系 | メカニカルブースターポンプ ＋ ロータリーポンプ（標準） （※搭載機能によってターボポンプ使用） |
| 所要電力 | 3φ 200V 10ｋVA〜 |
| 設置面積（Ｍ） | 2.0W×2.5D×2.5H |
| 冷却水 | 2kgf／cm2 20L／min |
| 圧縮空気 | 5kgf／cm2 以上 |
