マイクロハードネステスター(MHT)
微小硬さ試験機MHTは硬質薄膜から最大押し込み深さ200μｍにより厚みのあるポリマー膜、そしてバルク材までの広範囲な品質評価が可能な複合測定能力を持っています。
仕様
適用材料 |
CVD・PVDによる硬質膜、カーボン膜及びセラミック薄膜、塗装膜、バルク材 |
|---|---|
最大垂直荷重 |
30N |
荷重分解能 |
0.3 mN |
押し込み深さ |
200μm |
変位分解能 |
0.3nm |
使用可能圧子 |
三角錐、ビッカース、球 |
オプション
- ビデオ観察装置
マイクロコンビテスター(MCT)
試料を移動させることなく簡単な操作で切り替えができる機能で、本機は微小領域でMSTの基本測定機能にMHTの機能を併せ持った画期的な測定機です。微小荷重領域で測定部位の僅かな測定部位の僅かな変位でも大きなデータ変動として現われることがあり、これらの問題を避けるために２種類の測定を１つのモジュールにまとめ、硬さと密着性測定を可能にしました。
仕様
適用材料 |
CVD・PVDによる硬質膜、カーボン膜及びセラミック薄膜、塗装膜、バルク材、TiN、TiC、VC、DLC、Al2O3、硬質クロムメッキ、無電解ニッケルメッキ等 |
|---|---|
最大垂直荷重 |
30N |
荷重分解能 |
0.3 mN |
押し込み深さ |
200μm |
変位分解能 |
0.3nm |
使用可能圧子 |
三角錐、ビッカース、球 |
適用膜厚 |
0.01〜5μm |
Lc検出 |
AE、摩擦力、押し込み深さ、光学顕微鏡 |
荷重負荷速度 |
up to 100N/min |
スクラッチ速度 |
0.4 to 20mm/min |
推奨試料寸法 |
49×49×15tまたはφ64以下 |
PCデータ収集解析システム(Windows98/NT対応) |
|
オプション
- ビデオ観察装置
- 振動印加モジュール
- レーザーラマン分光分析装置
- ビデオ観察装置
- 各種圧子およびボールホルダー
- ビッカース圧子、ベルコビッチ圧子、ヌープ圧子
- ウエハーホルダー
ナノハードネステスター(NHT)
ナノインデンテーテョン法による薄膜の硬さ、ヤング率の測定を最新のマイクロメカニズム技術によって可能にした画期的な試験機です。また標準装備の光学顕微鏡に加えて、オプションで対物レンズ互換性AFM(原子間力顕微鏡)によって圧痕部の押し込み前後の高倍率観測が可能です。ISO14577に準拠しています。
仕様
| 適用材料 | カーボン薄膜、DLC、ガラス基板上の各種光学薄膜、電子部品保護膜、ポリマー薄膜、半導体プロセス薄膜 |
|---|---|
| 最大垂直荷重 | 300mN |
| 荷重分解能 | 1μN |
| 押し込み深さ | 20μm |
| 変位分解能 | 0.04nm |
| 使用可能圧子 | 三角錐、ビッカース、球 |
| 推奨試料寸法 | 8mm以上(基準リング外径) |
オプション
- ビデオ観察装置
- ウエハーホルダー
- 除振台
- 対物レンズ互換型AFM
ウルトラナノハードネステスター(UNHT)
ナノインデンテーテョン法による薄膜の硬さ、ヤング率の測定を可能にした世界最高制度の試験機です。通常のNHTを超える高精度の荷重・変位部解能と独自の測定方法の採用により、測定安定性に優れた試験機となっています。特にそのヘッド部はガラス製にし、特別な基板を製作することで温度ドリフトを1ppm/℃のレートにすることができました。
