原子間力顕微鏡(AFM)
測定ヘッドを小型化したことにより、対物レンズホルダーに取付けることができる原子間力顕微鏡です。材料表面の形態や粗さを高分解能で解析、画像化するのみならず、摩擦力イメージによる表面分析やパルスフォースモードによる表面のスティッフネス評価など多彩な解析が行えます。
仕様
AFM方式 |
光干渉方式 |
|---|---|
測定モード |
標準：接触モード |
分解能(XYZ軸) |
1nm |
スキャン範囲 |
最大20μm×20μm |
Z軸範囲 |
2μm |
オプション
- スキャン範囲:最大40μm×40μm と Z軸範囲：4μm
- 非接触モード・水平力モード・パルスフォースモード
- Image Plus ソフトウェア
コンスキャン(CON)
高精度3D共焦点顕微鏡と光学顕微鏡の利点を併せ持ち、マイクロレンジでの表面特性の定量測定と観察を新たに可能にしました。NSTやMST、MHTにおける測定後の表面状態観察に最適です
