レベテストスクラッチテスター (RST)
硬質薄膜の密着力評価において世界の標準機です。ダイヤモンド圧子によるスクラッチ中の被膜の剥離やクラック発生がAE(アコースティックエミッション)センサーおよび摩擦力センサー、顕微鏡観察により検出され臨界荷重Lcが決定されます。ISO
仕様
| 適用膜種 | TiN、TiC、VC、DLC、Al2O3、硬質クロムメッキ、無電解ニッケルメッキ等 |
|---|---|
| 適用膜厚 | 0.5〜20μm |
| Lc検出 | AE、摩擦力、押し込み深さ、光学顕微鏡 |
| 最大垂直荷重 | 200N(荷重分解能 1N) |
| スクラッチ速度 | 4 to 40 mm/min |
| 荷重負荷速度 | 40 to 400 N/min |
| 推奨試料寸法 | 30×30×15t以下 |
| PCデータ収集解析システム(Windows98/NT対応) | |
オプション
- 摩擦力測定テーブル
- ビデオ観察装置
- 各種圧子およびボールホルダー
- ビッカース圧子、ベルコビッチ圧子、ヌープ圧子
- ウエハーホルダー
- Profile Plus ソフトウェア
レベテストエクスプレス(RSX)
AEセンサー付自動スクラッチ試験機(RVT)の品質管理用の格安バージョンです。顕微鏡無しではありますが、装置性能はそのままに簡易に操作可能なスクラッチ試験機です。
マイクロスクラッチテスター(MST)
RVTの姉妹機としてAEセンサー、摩擦センサー、押し込み深さセンサー、光学顕微鏡を標準装備し、荷重分解能0.1Nの高精度測定がPCベースで可能です。
仕様
| 適用膜種 | TiN、TiC、VC、DLC、Al2O3、硬質クロムメッキ、無電解ニッケルメッキ等 |
|---|---|
| 適用膜厚 | 0.01〜5μm |
| Lc検出 | AE、摩擦力、押し込み深さ、光学顕微鏡 |
| 最大垂直荷重 | 30N(荷重分解能 0.1N) |
| 荷重負荷速度 | up to 100N/min |
| スクラッチ速度 | 0.4 to 20mm/min |
| 推奨試料寸法 | 49×49×15tまたはφ64以下 |
| PCデータ収集解析システム(Windows98/NT対応) インデンテーション試験機能 |
|
オプション
- 摩擦力測定テーブル
- 振動印加モジュール
- レーザーラマン分光分析装置
- ビデオ観察装置
- 各種圧子およびボールホルダー
- ビッカース圧子、ベルコビッチ圧子、ヌープ圧子
- ウエハーホルダー
- Profile Plus ソフトウェア
マイクロコンビテスター(MCT)
試料を移動させることなく簡単な操作で切り替えができる機能で、本機はMSTの基本測定機能にMHTの機能を併せ持った画期的な測定機です。微小荷重領域で測定部位の僅かな変位でも大きなデータ変動として現れることがあり、これらの問題を避けるために2種類の測定を1つのモジュールにまとめ、硬さと密着性測定を可能にしました。
仕様
| 適用材料 | ＣＶＤ・ＰＶＤによる硬質膜、カーボン膜及びセラミック薄膜、塗装膜、バルク材、TiN、TiC、VC、DLC、Al2O3、硬質クロムメッキ、無電解ニッケルメッキ等 |
|---|---|
| 最大垂直荷重 | 30N |
| 荷重分解能 | 0.3 mN |
| 押し込み深さ | 200μm |
| 変位分解能 | 0.3nm |
| 使用可能圧子 | 三角錐、ビッカース、球 |
| 適用膜厚 | 0.01〜5μm |
| Lc検出 | AE、摩擦力、押し込み深さ、光学顕微鏡 |
| 荷重負荷速度 | up to 100N/min |
| スクラッチ速度 | 0.4 to 20mm/min |
| 推奨試料寸法 | 49×49×15tまたはφ64以下 |
| PCデータ収集解析システム(Windows98/NT対応) | |
オプション
- ビデオ観察装置
- 振動印加モジュール
ナノスクラッチテスター(NST)
独自のダブル・カンチレバ−方式によりレベテスト、MSTと同様の基本原理により500nm以下の薄膜が測定可能な超微小領域用測定機です。密着力測定・摩擦力・押し込み深さに加え、極低荷重ロ−ドセンサ−によるプレスキャンにより曲面での測定も可能な画期的な測定機です。
仕様
| 適用膜種 | マイクロエレクトロニクス |
| 適用膜厚 | ＜1μm |
| Lc検出 | 摩擦力、押し込み深さ、光学顕微鏡 |
| 最大垂直荷重 | 標準カンチレバー 100mN(荷重分解能 1.5μN) |
| 荷重負荷速度 | up to 5N/min |
| スクラッチ速度 | 0.2 to 20mm/min |
| 推奨試料寸法 | 49×49×15tまたはφ64以下 |
| 摩擦力測定テーブル | 標準タイプ, 1 Nまで(荷重分解能 30μN) |
| PCデータ収集解析システム(Windows98/NT対応) | |
オプション
- 高分解能摩擦力測定テーブル、0.2 Nまで(荷重分解能 6μN)
- 高荷重カンチレバー 1 Nまで(荷重分解能 15μN)
- 高信頼性カンチレバー 10mNまで(荷重分解能 0.15μN)
- ビデオ観察装置
- 除振台
- 対物レンズ互換型AFM
