カロテスト(CAT)
ダイヤモンドスラリーを塗布したボールを用いた球面研磨法によるユニークな膜厚測定機です。試料の埋め込みや研磨といった煩わしい作業なしで、迅速で簡便ながら精度よく膜厚や表面改質層の厚さを測定できます。通常数分でひとつの試料が測定できます。
仕様
適用膜種 |
PVD、CVD(TiN、CrN、VC、AL2O3など)窒化層、メッキ被膜、塗装膜 |
標準適用膜圧 |
0.1〜50μm |
研磨時間設定 |
2秒〜15分 |
回転速度 |
10 to 2900rpm |
| 標準ボール直径 | 10、15、20、25、30mm (２個ずつ) |
ダイヤモンドスラリー |
100cc(＜0.2μm)と100cc(0.5〜1.0μm) |
| 標準ボール直径 | 10、15、20、25、30mm (１個ずつ) |
ダイヤモンドスラリー |
100cc(0.5〜1.0μm) |
カロウェアー(CLW)
素早く、簡単に、安価に、膜厚と摩耗量の評価ができる測定機です。カロテストと同様の方法で、膜厚を測定し、またボールに継続的にダイヤモンドやSiCスラリーを供給させて、薄膜の摩耗を促します。
サンプル裏側にあるロードセルにより、押し付け荷重(ボール自重)を検知し、摩耗量を割り出します。
仕様
適用材料 |
PVD、CVD(TiN、CrN、VC、AL2O3など)、セラミック溶射膜、表面硬化層、バルクセラミック、バルク金属 |
シャフトスピード |
60〜1200rpm |
標準ボール直径 |
20、25、30mm |
研磨時間設定 |
10-90秒または1-9分 |
テーブル寸法 |
50×50mm |
