表面分析
簡易膜厚測定器により、膜厚の測定を行います。
低抵抗測定法(4探針法)
両端の端子間に定電流に流し、内側 以下の式で低抵抗率を導出する。
RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚 |
基盤の影響について
低抵抗の体積測定率の場合、薄膜の正確な 例)低抵抗DLC薄膜400nmの体積抵抗
RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚 |
簡易膜厚測定器により、膜厚の測定を行います。
両端の端子間に定電流に流し、内側 以下の式で低抵抗率を導出する。
RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚 |
低抵抗の体積測定率の場合、薄膜の正確な 例)低抵抗DLC薄膜400nmの体積抵抗
RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚 |