DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

真空部品用ICFコーティング

コスト削減、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。

用途別コーティング受託加工一覧

真空部品用ICF

真空中では従来のDLC の摩擦係数は0.5~0.6 でしたが、カスタマイズ膜は0.04 を達成しました。

Sample name Thickness
(μm)
Hardness Hit
(MPa)
Young modules
Eit(GPa)
従来DLC(P-CVD) 1.87 24295 223
真空部品用の
カスタマイズ膜
3.38 12603 83

   

図 ボールオンディスク法による摩擦摩耗試験結果

《カスタマイズICF 仕様》
膜  厚:2~3μm
硬  度:約HV1,200

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