真空部品用ICFコーティング
コスト削減、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。
用途別コーティング受託加工一覧
真空部品用ICF
真空中（宇宙）での応用を考慮し10-2Pa環境下での摩擦摩耗試験を実施しました。従来PCVDのDLC膜は摩擦係数0.5～0.6とですが、本開発の真空部品用ICFで新たな超低摩擦係数0.04を達成しました。
| Sample name | Thickness (μm) |
Hardness Hit (MPa) |
Young modules Eit(GPa) |
| 従来DLC（P-CVD) | 1.87 | 24295 | 223 |
| 真空部品用ICF （Ionized evaporation） |
3.38 | 12603 | 83 |
図 ボールオンディスク法による摩擦摩耗試験結果
≪仕 様≫
膜 厚：1～3μm
硬 度：1,000～1,200HV
コーティング有効サイズ：φ200×460L
