真空部品用ICFコーティング
コスト削減、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。
用途別コーティング受託加工一覧
真空部品用ICF
真空中では従来のDLC の摩擦係数は0.5～0.6 でしたが、カスタマイズ膜は0.04 を達成しました。
| Sample name | Thickness (μm) |
Hardness Hit (MPa) |
Young modules Eit(GPa) |
| 従来DLC（P-CVD) | 1.87 | 24295 | 223 |
| 真空部品用の カスタマイズ膜 |
3.38 | 12603 | 83 |
図 ボールオンディスク法による摩擦摩耗試験結果
《カスタマイズICF 仕様》
膜 厚：２～３μｍ
硬 度：約HV1,200
