DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

真空部品用ICFコーティング

コスト削減、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。

用途別コーティング受託加工一覧

真空部品用ICF

真空中(宇宙)での応用を考慮し10-2Pa環境下での摩擦摩耗試験を実施しました。従来PCVDのDLC膜は摩擦係数0.5~0.6とですが、本開発の真空部品用ICFで新たな超低摩擦係数0.04を達成しました。

Sample name Thickness
(μm)
Hardness Hit
(MPa)
Young modules
Eit(GPa)
従来DLC(P-CVD) 1.87 24295 223
真空部品用ICF
(Ionized
evaporation)
3.38 12603 83

   

図 ボールオンディスク法による摩擦摩耗試験結果

≪仕  様≫
膜  厚:1~3μm
硬  度:1,000~1,200HV
      コーティング有効サイズ:φ200×460L

 

 

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