DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティング処理

DLC膜はアモルファス(非晶質)カーボン膜で、グラファイトとダイヤモンドの中間の位置にあります。膜表面が滑らかで、摩擦係数が低く(μ=0.1)、自己潤滑性があるため、軟質金属の成形時に、金型への金属凝着を防いだり、金型鏡面部を保護します。DLC膜を油代わりとし、オイルレス化やメンテナンスフリーを目指します。
DLCリサイクルシステム:DLC膜使用⇒エッチング処理(DLC膜除去)⇒ラッピング⇒再DLC処理も行なっています。

 
 
 
DLCコーティング処理パンチ
 
DLCコーティング処理搬送ガイド
 
《原理》
真空中において弊社オリジナルの特殊なイオン源により、炭化水素ガスをプラズマ中でイオン化し、高硬度で摩擦係数の低いDLC膜を生成させます。
コーティングエリア:φ300×200mm 処理温度:250℃
《用途》
軟質金属(アルミ・銅・はんだめっき)成形金型及び工具
圧粉成形金型(フェライト・セラミック・超硬)
プラスチック成形金型(小型コネクター)
電子部品搬送ガイド・実装機用吸着コレット
適用材質:超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・SUSなど
《機械的特性》
硬度:2,000〜2,200HV
摩擦係数:μ=0.1
膜厚: 標準 1μm 0.1μm以下の超薄膜も対応可
 
耐熱DLC(ダイヤモンドライクカーボン)コーティング処理
従来、DLC膜は350℃近辺より、グラファイト結晶が成長したり酸素の影響で劣化し、密着力不良や硬度の低下を起こしていました。コーティング条件の工夫により、超硬合金より、高い硬度(1,400HV)で、高温下(500℃)でも、摩擦係数が低い(μ=0.1)DLC被膜の処理が可能になりました。高温下で使用する金型や摺動部品の寿命向上に貢献します。
《原理》
真空中において弊社オリジナルの特殊なイオン源により、炭化水素ガスをプラズマ中でイオン化し、耐熱性が高いDLC膜を生成させます。
コーティングエリア:φ300×200mm  処理温度:250℃
《用途》
ヒートプレート・温間鍛造金型  
適用材質:超硬合金・SKH・SKD・SUJ2・SUSなど
《機械的特性》
硬度:1,400〜1,500HV  
摩擦係数:μ=0.1  
膜厚:標準 1〜2μm 0.1μmの超薄膜も対応可
500℃ボールオンディスク摩擦摩耗試験条件(CSM社 TRIBOMETER使用)
WC-Co+耐熱DLC 5μm  ボール材質:ガラス φ6.35mm  荷重 5N  周速度:100mm/sec  移動距離:200m
 
クラニックス(耐熱被膜)コーティング処理
構成比を独自配合した窒化クロム/アルミニウム合金被膜中に第3元素Xを混合させ、イオンスパッタリング方式にて成膜しました。当被膜は耐熱性と耐酸化性が非常に高く、また酸化したとしても緩やかに進行します。従来のTiAlN膜より著しく改善され、高温環境下での使用に耐えうる新機能被膜です。硬度も高く安定した性能を発揮します。
《原理》

イオンスパッタリング装置でクラニックス(CrAlNX)被膜を成膜させます。
処理温度:350℃ コーティングエリア:φ200×150H(mm)

《用途》
熱処理炉内搬送治具(酸化防止目的)  ガラス成形用金型 (離型性向上目的)
適用材質:SUS310S・超硬合金・SKH・SKDなど
《機械的特性》
硬度:2,000〜2,200HV  荷重10mN(CSM 超微小硬度試験機 ナノハードネステスター使用) 
摩擦係数:785℃大気加熱時  μ=0.46  常温時μ=0.85  荷重1N  ボールSUS440C(CSM 高温型ボールオンディスク摩擦摩耗試験機 トライボメータ使用)
膜厚:標準100nm  最大500nm
         
   

 
 
薄膜専用機械的特性評価受託テスト
密着力・硬度・摩擦摩耗・膜厚などの評価受託テストをおこなっています。詳しくはお問い合せください。
 
DLCコーティング装置(右)・DLCエッチング装置(左)
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