DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

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ロール・ツー・ロールの真性カーボン成膜装置
ナノテック、真性カーボン膜を1分で660ナノメートルまで成膜できる装置開発
(日刊工業新聞)

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