DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

ロール・ツー・ロールの真性カーボン成膜装置
ナノテック、真性カーボン膜を１分で６６０ナノメートルまで成膜できる装置開発
（日刊工業新聞）