オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機 純国産（日本製）ナノテック製
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機 純国産
※写真のアクリルカバーはオプションです。
オートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定できます。
■試料調整が不要
断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。
■多層膜の評価が可能
薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。
■適用事例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜
この試験機は、研磨痕の測長した結果を元に、
ISO20423 Determination of coating thickness by crater grinding method に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。 なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
測定原理 及び 仕様
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| はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 | 次に、作成された研磨痕を観察し、 上図のX とY の距離を測長します。 |
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測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |
●仕様
◆シャフト回転速度:100 ～ 3,000 rpm
◆設定可能な回転時間: 1 秒 ～ 60 分
◆最大試料サイズ: φ40mm
※オプションで、アクリルカバーをつけることができます。
消耗品
ダイヤモンドスラリーとボール
| 日本製ボールSUJ2材 | φ20mm |
| 日本製ボールSUJ2材 | φ30mm |
| ダイヤモンドスラリー | 粒径1.0μｍ（100cc） |
※純国産（日本製）ナノテック製
オートクレーター測定実施例
TiNコーティングテストピース
• ボール直径.：30 mm
• モーター速度：400 rpm
• テスト時間：30 sec
• スラリーの種類：ダイヤモンドスラリー1.0 μm
名称変更のお知らせ
オートクレーターは、「簡易膜厚測定器」という名称から新たに「簡易膜厚測定用研磨機」に変更になりました。
