オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
ナノテック製 簡易膜厚測定用研磨機のオートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、研磨痕の測長した結果を元に、ISO26423に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。
なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
また、オートクレーターによる受託分析も提供しております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
ISO26423:Determination of coating thickness by crater grinding method
オートクレーターの特徴
試料調整が不要
断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。
多層膜の評価が可能
薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。
適用事例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜
測定原理 及び 原理
手順１
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はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 |
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手順２
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次に、作成された研磨痕を観察し、 |
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手順３
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測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |
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仕様
| シャフト回転速度 | 100 ～ 3,000 rpm | 設定可能な回転時間 | 1 秒 ～ 60 分 |
| 最大試料サイズ | φ40mm |
| 付属品 | ダイヤモンドスラリー受け皿 シャフト交換用スパナ２本 ボールセット ダイヤモンドスラリー 取扱説明書 |
| オプション | アクリルカバー |
消耗品
オートクレーターでの研磨に際し、下記が消耗品として必要となります。
・ダイヤモンドスラリー
・ボール
・オートクレーター用先端シャフト
弊社では各種消耗品も販売しております
