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表面分析
簡易SEM・EDXによる観察と元素分析

真空中で電子を試料にあてると二次電子や特性X線などを発生させることができます。2次電子によって立体的な白黒の画像を得られ、光学顕微鏡よりずっと高倍率まで観察することができます。 本試験所では、簡易SEM(走査型電子顕微鏡)による観察とEDX(エネルギー分散型X線分析装置)によって元素分析も行うこともできます。

図 簡易SEM・EDXによる観察と元素分析

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