ナノテック株式会社 DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析膜厚測定

膜厚測定

簡易膜厚では回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで膜厚を測定します。ダイヤモンドスラリーを塗布したボールを用いた球面研磨法によるユニークな膜厚測定機です。試料の埋め込みや研磨といった煩わしい作業なしで迅速で簡便ながら精度よく薄膜や表面改質層の厚さを測定できます。

使用機器及び測定仕様

簡易膜厚測定用研磨機オートクレーター

簡易膜厚測定用研磨機オートクレーターは弊社にて製造・販売をしております。

簡易膜厚測定用研磨機オートクレーター測定実施例

右画像はTiNコーティングテストピースを下記条件で研磨したものになります。

光学顕微鏡等で研磨痕で測長し、ISO26423 Determination of coating thickness by crater grinding method に記載された下記計算方法を用いて膜厚を算出致します。

・透明な基材上の透明膜等でコントラスト明確でないとき、表面粗さが粗く界面付近が明確でない場合に測定が難しい場合があります。
・多層膜の場合はあらかじめご連絡ください。
・薄い基材の場合はうねり等が測定結果に影響がある場合があります。
・位置指定をご希望の場合は、有償となりますのでご連絡下さい。