表面分析
簡易膜厚測定用研磨機により、膜厚の測定を行います。
カロテストによる膜厚測定の基本原理
ダイヤモンドペーストを塗布したボールを用いた球面研磨法によるユニークな膜厚測定機です。試料の埋め込みや研磨といった煩わしい作業なしで迅速で簡便ながら精度よく薄膜や表面改質層の厚さを測定できます。
 |
 |
| はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 | 次に、作成された研磨痕を観察し、 上図のX とY の距離を測長します。 |
 |
測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |
簡易膜厚測定用研磨機 オートクレーター
Calotest（カロテスト)は現在使用しておりません。
オートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定できます。
＝用途＝
DLC、TiN、CrN、Crメッキ、Niメッキ、TiAlN、多層膜
(注)ただし透明な基材上の透明膜等ではコントラスト明確でないとき、表面粗さ
があらく界面付近が明確でない場合に測定が難しい場合があります。
オートクレーター測定実施例
TiNコーティングテストピース
• ボール直径.：30 mm
• モーター速度：400 rpm
• テスト時間：30 sec
• スラリーの種類：ダイヤモンドスラリー1.0 μm
名称変更のお知らせ
オートクレーターは、「簡易膜厚測定器」という名称から新たに「簡易膜厚測定用研磨機」に変更になりました。
