DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

表面分析

荷重をかけながらダイヤモンド圧子で試料表面を引っかき、膜の密着性や傷つきやすさの評価を行います。

レーザー顕微鏡の原理

 

光源から照射されたレーザーを対物レンズを通して試料表面で集光させます。集光点で生じた光はビームスプリッターにより検出器側へ反射しピンホールを通り検出されます。このピンホールにより、ピントのあった箇所の情報を得ることができます。

使用試験機

試験機名 説明 特徴
LEXT OLS 4000 レーザー顕微鏡 405nm半導体レーザーにより高精度で測定可能
測定事例


樹脂の傷つきやすさの評価

■膜剥がれの状態観察

レーザー顕微鏡により3D表示や深さの計測も可能です。
膜のトラブル時の詳細観察や材料の面粗さ(Sa 算術平均高さ、Sz 最大高さ等)の測定まで幅広く対応できます。


図 レーザー顕微鏡による計測事例

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