表面分析
荷重をかけながらダイヤモンド圧子で試料表面を引っかき、膜の密着性や傷つきやすさの評価を行います。
レーザー顕微鏡の原理
光源から照射されたレーザーを対物レンズを通して試料表面で集光させます。集光点で生じた光はビームスプリッターにより検出器側へ反射しピンホールを通り検出されます。このピンホールにより、ピントのあった箇所の情報を得ることができます。
使用試験機
| レーザー顕微鏡(LEXT OLS4000) | ||
| 詳細仕様 |
| LSM部 | 光源 | 405nm半導体レーザーにより高精度で測定可能 |
| 検出系 | フォトマルチプライヤー | |
| カラー観察部 | 光源 | 白色LED |
| 検出系 | 1/1.8インチ200万画素単板CCD | |
| Z測長部表示分解能 | 1 nm | |
測定事例
■膜剥がれの状態観察
レーザー顕微鏡により３D表示や深さの計測も可能です。
膜のトラブル時の詳細観察や材料の面粗さ（Sa 算術平均高さ、Sz 最大高さ等）の測定まで幅広く対応できます。
図 レーザー顕微鏡による計測事例
