表面粗さ測定/形状測定
レーザー顕微鏡観察では、高解像度な観察・測定で微細な試料の状態観察が可能です。
光源から照射されたレーザーを対物レンズを通して試料表面で集光させます。集光点で生じた光はビームスプリッターにより検出器側へ反射しピンホールを通り検出されます。このピンホールにより、ピントのあった箇所の情報を得ることができます。
使用機器 及び 測定仕様
レーザー顕微鏡
| 機器名 | LEXT OLS4000 | |
| LSM部 | 光源 | 405nm半導体レーザーにより高精度で測定可能 |
| 検出系 | フォトマルチプライヤー | |
| カラー観察部 | 光源 | 白色LED |
| 検出系 | 1/1.8インチ200万画素単板CCD | |
| Z測長部表示分解能 | 1 nm | |
測定イメージ
レーザー顕微鏡 測定イメージ
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レーザー光を試料に照射し、その反射光や透過光を検出することで、下画像のような試料の3D表示や、右画像のような深さの計測が可能です。膜のトラブル時の詳細観察や、材料の面粗さ(Sa算術平均高さ、Sz最大高さ等)の測定まで幅広く対応できます。 |
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測定事例
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■試験の目的 樹脂の傷つきやすさの評価 ■使用試験機 スクラッチ試験機 、レーザー顕微鏡 |
