DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析の
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各種真空コンポーネント
開発装置、中古装置改造などにマッチング可能ですので、お気軽にご連絡ください。既存真空装置へ取付可能なコンポーネントを用意しております。カスタマイズ設計も対応致します。
カスタマイズ製作
空圧式シャッター機構
基本仕様
ベローズによる真空シール
直線導入型、ストローク長は任意
エアシリンダ方式
シャッター形状は任意
開閉センサー装備
エア用電磁部はオプション可能
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