DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

DLC分類

タイプⅠ（ta -C）

アーク法
ＨｉＰＩＭＳ法

 

タイプⅡ（ta -C:H）

イオン化蒸着法（高硬度）

 

タイプⅢ（a-C）

ＨｉＰＩＭＳ法
スパッタリング法

 

タイプⅣ（a-C:H）

イオン化蒸着法
プラズマＣＶＤ

 

タイプⅤ（GLC）

スパッタリング法

 

タイプⅥ（PLC）

プラズマＣＶＤ

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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