DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

紫外線吸収・赤外線透過 ICFコーティング

コスト削減、省エネ、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。

コーティング受託加工

光学用 ICF UV吸収・赤外透過型

可視光・赤外域透過,消衰係数低下,耐摩耗性

構造制御により、可視光・赤外域の波長の透過を向上させることを可能にしました。UV域の吸収性の制御も可能です。赤外域では従来品よりも高い透過性を実現しました。FT-IRの測定結果を図1に示します。
FT-IRの測定結果

FT-IRの測定結果を下図に示します。

図1

 

Siウエハ上の膜を全反射法:ATR(Attenuated Total Reflectance)で測定しました。
補正方法:ATRもぐりこみ深さ補正と自動ベースライン補正。
試料サイズ・材質によって違いがあります。

 

用途

 

各種ガラス基板上保護膜
光学用各種基板

 

仕様

 

硬  度 HV800~2,000
摩擦係数 0.1~0.25
膜  厚 標準0.05~0.3μm

※中間層を成膜する場合は、吸収波長域は変化します。

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