DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

紫外線吸収・赤外線透過 ICFコーティング

コスト削減、省エネ、耐久性、寿命向上に役立つDLCとICFコーティングでお客様のニーズに合わせた表面処理を少量サンプル試作から大量生産の受託加工を行っています。

コーティング受託加工

光学用 ICF UV吸収・赤外透過型

可視光・赤外域透過,消衰係数低下,耐摩耗性

各種ドーピング技術により、紫外線を吸収し可視光・赤外域の波長の透過を向上させることが可能になりました。赤外域では従来品の1/2程度まで消衰係数の低下を実現しました。
分光エリプソメトリの測定結果

分光エリプソメトリの測定結果を下図に示します。


データは石英ガラス上の結果です。試料のサイズ、材質によって違いがあります。

横軸に波長、縦軸に消衰係数の関係式を下記に示します。

従来のDLCと比べて、赤外域での透過性を向上させました。各種光学用フィルターなどへの耐摩耗性を兼ね揃えた用途に応用できます。

バンドギャップも0.8~2.2eVまで制御可能であるため、光センサーなどへの応用も可能です。

用途

各種ガラス基板上保護膜

光学用各種基板

光センサー

光学用フィルター

仕様

硬度 800~1,800HV(ナノインデンテーション)
膜厚 0.05~0.3μm
摩擦係数 0.1~0.25(ボールオンディスク法)

※中間層を成膜する場合は、吸収波長域は変化します。

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