DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

コーティング加工設備のご紹介

小型機

ICF-330

 

仕 様

膜  種 DLC(All Type)
各種ICFコーティング
装  備 イオン源1基, 2元ターゲット
DC・RF・パルス電源, HiPIMS電源
ガスライン6系統
製  法 IVD, P-CVD, HiPIMS
基板テーブル φ100×1基
搭載寸法 φ100x100mm
有効範囲 φ100x100mm

【特 徴】
幅1,400×高さ1,700mmと体は小さいですが、ほぼすべてのコーティング加工が可能です。 多くの機構を装備しこの1台で複数の製法を操るマルチ仕様のため、コーティングの細かい生成条件指定がある大学等学術研究機関向けや開発試作コーティングで重宝されています。

ICF-500

 

仕 様

膜  種 DLC(Type IV, VI)
各種ICFコーティング
装  備 イオン源1基、スパッタ源1基
RF電源, ガスライン4系統
製  法 IVD, P-CVD
基板テーブル φ200×1基
搭載寸法 φ200x200mm
有効範囲 φ200x150mm

【特 徴】
絶縁性ICF導電性ICFなどの電気特性皮膜の生成を得意とし、またPLC(ポリマー・ライク・カーボン)などカスタマイズ仕様のコーティングも可能です。
100℃未満の低温製法にも対応し、耐熱温度の低いゴムや樹脂製品への施工も可能です。
ほぼすべてのICFコーティングシリーズとカスタマイズICFにも対応しているため、少ロットの試作コーティングに最適です。

中型機

DASH-1000(ICF-1000初号機)

 

仕 様

膜  種 DLC(Type IV)
生体適合性ICF
アルミニウム合金用ICF
装  備 イオン源2基、スパッタ源1基
DC電源, ガスライン2系統
自公転式回転テーブル
製  法 IVD
基板テーブル φ200×6基
搭載寸法 φ650x620mm
有効範囲 φ650x460mm

【特 徴】
小テーブル6基を具備した自公転式回転テーブルを搭載し、量産品でもバラツキのない品質を維持しています。
また、多種多様な汎用治具を持ち、様々な形状の製品へのコーティングが可能です。

ASD-800

 

仕 様

膜  種 DLC(Type I, II, III, IV, VI)
装  備 イオン源2基、スパッタ源1基
DC・HiPIMS電源, ガスライン4系統
自公転式回転テーブル
製  法 IVD, HiPIMS
基板テーブル φ170×7基, 垂直テーブルx5基
搭載寸法 φ725x450mm, 500x165mm
有効範囲 φ700x350mm, 480x120mm

【特 徴】
小テーブルを7基も装備し、イオン源だけでなくHiPIMS電源も具備しておりますので、水素フリーICFのコーティングが可能です。
また、開発試作コーティングの量産や、カスタマイズ仕様の量産にも対応しています。

大型機

NANOCOAT-4000

 

仕 様

膜  種 DLC(Type IV, IV)
環境調和型ICF
装  備 イオン源15基、DC電源
ガスライン2系統
ドラム式回転軸1基
製  法 IVD, P-CVD
基板テーブル 600×2,400mm※固定時
搭載寸法 φ600×3,500mm
有効範囲 φ500×3,500mm

【特 徴】
3mを超える大型長尺品に対しても、硬くて滑らかに成膜できるIVD(イオン化蒸着法)によるコーティングが可能です。>>>もっと詳しく(PDF)

PVDコーティング装置

NTH-1000

 

仕 様

膜  種 TiN, TiCN
装  備 HCDイオンガン1基、DC電源、
ガスライン3系統、
自転式回転テーブル
製  法 HCD
基板テーブル φ130×8基
搭載寸法 φ130x300mm
有効範囲  同上

【特 徴】
ドロップレットのない平滑性に優れた製法「HCD(ホローカソード)」で、精密金型や極細のピン形状品、鏡面加工品へのコーティングにも対応しています。
8基の自転テーブルと多種多様な汎用治具を具備し、様々な形状品の量産が可能です。

A-1113、A-1000、T-1000

 

仕 様

膜  種 TiN, TiCN, TiAlN, CrN, CrAlN, PAC(DLC [Type I])
装  備 ハニカム式ターゲット
自公転式回転テーブル
製  法 AIP
基板テーブル φ200×8基
搭載寸法 φ800×1,200、φ700×650
有効範囲 φ700×1,100、φ600×600

【特 徴】
真空炉内空間を効率的広範囲に利用できるAIP方式の製法と自公転テーブル機構を持ち、大量生産に対応したPVD装置です。また、1mの長尺品の処理も可能です。
天然ダイヤに匹敵する高硬度のDLC(Type I)のコーティングができる事も特徴です。

注釈:
ここで紹介している装置は、保有する設備の一部です。
使用する装置の指定はできません。
基材の形状や材質、コーティング指定面などにより、搭載ができない場合があります。
但し、専用治具の設計や配置方法を工夫する事により、規格外寸法でも処理が可能な場合もあります。
装置の販売もいたしております。詳しくはこちら
工場見学も承っております。(※現在は感染症対策により、一部入場制限有り)
また、社内ショールームもございますので、お気軽にお立ち寄り下さい。

Copyright© 2020 Nanotec Corporation. All Rights Reserved.