特許一覧
ナノテック株式会社で所有している特許(15件)
1. | 特許5295102 導電性保護膜及びその製造方法 平成25年6月21日(2013.6.21) |
2. | 特許5839318 炭素膜の形成方法、炭素膜の形成装置、及び炭素膜 平成27年11月20日(2015.11.20) |
3. | 特許5900754 炭素膜成膜装置 平成28年3月18日(2016.3.18) |
4. | 特許6512577 燃料電池構成部品用表面処理部材 平成31年4月19日(2019.4.19) |
5. | 特許6472026 燃料電池用導電部材の製造方法 平成31年2月1日(2019.2.1) |
6. | 特許6614482 燃料電池の製造方法および燃料電池の製造装置 令和1年11月15日(2019.11.15) |
7. | 特許6512579 燃料電池の製造方法および燃料電池の製造装置 平成31年4月19日(2019.4.19) |
8. | 特許6432884 炭素膜の製造方法 平成30年11月16日(2018.11.16) |
9. | 特許6583670 亜鉛を含有する非晶質炭素膜の製造方法 令和1年9月13日(2019.9.13) |
10. | 特許6601950 膜厚検査装置、膜厚検査方法、膜構造体の製造装置、および膜構造体の製造方法 令和1年10月18日(2019.10.18) |
11. | 特許6474076 薄膜製造方法および薄膜製造装置 平成31年2月8日(2019.2.8) |
12. | 特許6628122 導電部材、その製造方法、ならびにこれを用いた燃料電池用セパレータおよび固体高分子形燃料電池 令和1年12月13日(2019.12.13) |
13. | 特許6573276 磁化同軸プラズマ生成装置を用いる薄膜生成装置 令和1年8月23日(2019.8.23) |
14. | 特許6956956 細胞生産方法 令和3年10月8日(2021.10.8) |
15. | 特許7204196 成膜装置 令和5年1月5日(2023.1.5) |