受託分析
表面の機械的物性評価は薄膜プロセスのキーポイントです。
ナノテックでは、豊富な経験と高い技術力により、お客様のニーズにあった分析サービスを提供します。また、ファイ ンセラミックスコーティング関連のISO規格化、摩擦摩耗試験のJIS規格化及び、DLC膜の摩擦摩耗試験ISO18535規格化と、光学的特性評価のISO23216規格化に参加し、測定分野の環境整理も行い業界の発展に努めております。弊社の分析サービスを是非一度ご利用下さい。
機械的物性評価
摩擦摩耗試験
| 摩擦や摩耗に対する耐久性を評価する試験で、摩擦係数の測定や摩耗量の測定が可能です。高温環境や液中環境での試験にも対応しています。 | 詳しくはこちら |
【関連規格】ISO18535,JIS R 1613,ASTM G99,ASTM G133
スクラッチ試験
| 膜の密着性を評価する試験です。膜に荷重をかけた際のヒビ・カケ・剥離等の状態変化や、AE・摩擦力等から機械的な強度や密着性を考察します。 | 詳しくはこちら |
【関連規格】ISO20502,ASTM C 1624,ASTM D 7027
硬さ試験
| 膜の硬度測定が可能です。ナノインデンテーション法により圧子の押し込み荷重と深さを連続的に測定し、その測定曲線から硬さやヤング率を算出します。 | 詳しくはこちら |
【関連規格】ISO14577
膜厚測定
| 膜厚の測定が可能です。回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を測長することで膜厚を測定できます。
【関連規格】EN1071-2
|
詳しくはこちら |
表面粗さ測定/形状測定
| 表面の粗さの観察、膜剥がれの状態観察が可能です。膜のトラブル時の詳細観察や材料の面粗さの測定まで幅広く対応できます。 | 詳しくはこちら |
光学測定
分光エリプソメトリー
| 膜厚の測定・DLC膜の分類解析が可能です。試料へ光を照射することで入射光と反射光の偏光の変化量を測定し、膜厚及び光学定数の波長依存性を求めます。 | 詳しくはこちら |
【関連規格】ISO23216
電気的特性試験
低抵抗測定(4探針法)
| 表面抵抗率の測定が可能です。低抵抗領域（～106Ω）を定電流印加法にて測定します。 | 詳しくはこちら |
高抵抗測定法(2重リング法)
| 表面抵抗率の測定が可能です。高抵抗領域（106Ω～）を低電圧印加法にて測定します。 | 詳しくはこちら |
元素分析・状態分析
簡易SEM・EDXによる観察と元素分析
| 簡易SEM（走査型電子顕微鏡）による観察とEDX（エネルギー分散型X線分析装置）によって元素分析が可能です。 | 詳しくはこちら |
受託分析のご依頼
ご依頼の流れ
| お問合せから測定結果のご報告までの流れについてまとめております。 | 詳しくはこちら |
