DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

表面分析

簡易膜厚測定器により、膜厚の測定を行います。

低抵抗測定法(4探針法)

両端の端子間に定電流に流し、内側
の二端子で電圧を測定する。

以下の式で低抵抗率を導出する。

体積抵抗率
表面抵抗率

RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚

基盤の影響について

低抵抗の体積測定率の場合、薄膜の正確な
抵抗率を算出するためには、体積抵抗率の高い
基板を使用しなければならない。

例)低抵抗DLC薄膜400nmの体積抵抗

基板
体積抵抗率
(Ωcm)
Siウエハ
(1~10)
ガラス
(>1016
SUS304板
(>5×10-5
体積抵抗率
Ωcm
2.2.×10-2 6.0×10-2 1.3×10-7(※1)

RCF:低抵抗率補正係数 t:膜厚

Copyright© 2019 Nanotec Corporation. All Rights Reserved.