DLCコーティング・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

コーティング装置 DLC成膜装置

真空とプラズマを利用し、様々な材料に薄膜や改質層を成形し、付加価値を高める装置を製造。ユーザーのニーズに合う多種、 多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います。

DLC成膜装置<NANOCOATシリーズ>

ダイヤモンドの性質に近い高硬度(マイクロビッカース硬度2,000~4, 000)、低摩擦係数(μ=0.2以下)、表面平滑性及び耐溶着性・離型性に優れたダイヤモンド・ライク・カーボン成膜装置のスタンダードモデル。

原理・構造

本装置は真空中において特殊なイオン源によりC6H6(ベンゼン)をプラズマ中で分解し、ダイヤモンドライクカーボン膜を生成させます。

マルチイオン源によるプラズマエリアの制御と基板回転機構により、複雑形状物へも均一で密着力の強いコーティングが可能です。

DLC成膜装置 仕様

機種 NANOCOAT-500 NANOCOAT-800 NANOCOAT-1000
真空槽(mm)
500W×500W×600H φ800×650H φ1000×900H
有効エリア(mm)
φ200×200L φ500×200L φ600×500L
基板ホルダー
自公転式(製品形状に応じて特注製作可能)
搭載放電システム
DLCイオン源(イオン化蒸着源)
到達圧力
6.7×10-4Pa以下
排気速度
6.7×10-3Pa以下まで30分以内
基板加熱機構
オプション(シースヒーター、ランプヒーター等)
基板バイアス
MAX 3,000V 500mA
装置制御
レシピ画面設定による完全自動運転
排気系
ターボ分子ポンプ + ロータリーポンプ
所要電力
3φ 200V 10kVA 3φ 200V 20kVA 3φ 200V 30kVA
設置面積(M)
2.5W×3.0D×2.5H 3.0W×4.0D×2.5H 4.0W×4.0D×2.5H
冷却水
3kgf/cm2 20~40L/min
圧縮空気
6kgf/cm2 以上

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