DLC Analyzer 光学的DLC分類試験機 (分光エリプソメーター)
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
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DLC Analyzer 自動薄膜計測装置(分光エリプソメータ)
spectroscopic ellipsometer
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プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。 イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。 |
■装置仕様
| 測定方式 | 液晶変調方式 |
| 光源 | ハロゲンランプおよび青色LED |
| 波長範囲 | 440nm-1000nm |
| 分光器 | 迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
| 検出器 | 高感度・高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
| 入射角度 | 70度固定 （66度固定、61.5度固定も選択可） |
| スポットサイズ | 500μm X 500μm; 250μm X 500μm; （ 70度入 射時） 250μm X 250μm; 70μm X 250μm; 100μm X 100μm; 50μm X 60μm; 25μm X 60μm ※いずれも長方形 |
| サンプルステージ | XYZ電動可変、真空吸着機構 X軸：max. 200mm Y軸：max. 200mm Z軸：max. 40mm |
| サンプル観察系 | イメージングシステム MyAutoView – ソフトウェア上にてスポット位置確認 -カラー 2次元CCD – 照射範囲：2mm X 6mm@70度入射 |
| 操作ＰＣ | デスクトップＰＣ、ＴＦＴモニタ |
| ソフトウェア | 分光エリプソメータ測定およびデータ解析用 DeltaPsi2 |
| 装置寸法（本体） | W 760mm X D 572mm X H 592mm |
■オプション
| 光源 | Xeランプユニット （100μm以下のスポット使用時に推奨） |
| アクセサリ | ＜サンプルセル＞ 液体測定用、電気化学用 ＜サンプルステージ/ホルダ＞ 透過測定用、回転ステージ、曲面サンプル用 プラスチックフィルム用、マルチサンプラー |
■必要ユーティリティ
| 電源 | AC100V±5%未満 （標準消費電力：200W） |
メーカー：堀場製作所
ナノテックはDLC評価試験装置の販売店です。
DLC Analyzer用のDLC基準片の販売を行なっております。
こちらをご参照下さい
関連論文
DLCの光学特性と硬さの相関について、 「Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol. 7, No. 2, 2013」に論文が掲載されました。
タイトル:「Correlation between Optical Properties and Hardness of Diamond-Like Carbon Films」
リンク先:https://www.jstage.jst.go.jp/article/jmmp/7/2/7_187/_pdf
