各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
消耗品
ダイヤモンドスラリーとボール
| ボールSUJ2材 | φ20mm | |
| ボールSUJ2材 | φ30mm | |
| ダイヤモンドスラリー | 粒径1.0μm（100cc） | |
| SUJ2材ボールセット | φ10・15・20・25・30mm各1個 | 新製品 |
消耗品
スクラッチ試験用
国産ダイヤモンド圧子 0.2mm（200μm）
全品検査済み。
Anton Paar 社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
CSM 社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
CSEM社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
スクラッチ試験用圧子の検品(先端の摩耗状態の確認)に使用します。
○膜種:DLC(約1μm)
○基材:NK4(SKH4相当)
○サイズ:8 ×12×160mm
表面仕上：ダイヤモンドラッピング Ra<0.3μm 
１．【超硬合金】 販売単位10個入り/1ケース 形状：13×13×5mm
材種名：ＴＨ１０（Ｋ１０種相当品）硬度：92.0HRA
粒子径：1.3μm抵抗力：160kg/ｍｍ2
２．【ＳＫＨ５１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：13×13×5mm Rz≦0.2μm
硬度：62～64HRC
３．【ＳＫＤ１１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：58～61HRC
４．【ＳＫＤ６１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：50～53HRC
５．【ＳＵＪ２】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：58～60HRC
表面仕上：ダイヤモンドラッピング Ra<0.3μm 
１．【超硬合金】 販売単位10個入り/1ケース形状：φ25×5mm
材種名：ＴＨ１０（Ｋ１０種相当品）硬度：92.0HRA
２．【ＳＫＨ５１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm Rz≦0.2μm
硬度：61～62HRC
３．【ＳＫＤ１１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm
硬度：58～61HRC
４．【ＳＵＪ２】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm Rz≦0.2μm
硬度：58～60HRC
| 品名 |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.8mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.4mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.2mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.1mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.05mm |
| スクラッチ試験用 DLC試験片 |
| アルミナAl2O3材 ボール Ø1/4” 100個 |
| シリコンカーバイドSiC材 ボール Ø6mm 5個 |
| 超硬WC材 ボール Ø6mm 20個 |
| SUJ2材 ボール Ø6mm 1000個 |
| SUS440C材 ボール Ø6mm 500個 |
| SUS304材 ボール Ø6mm 500個 |
| SUJ2材 ボール Ø20mm 1個 |
| SUJ2材 ボール Ø30mm 1個 |
| ダイヤモンドスラリー 粒径1.0μm 1本 |
| オートクレーター用先端シャフト |
| 超硬WC材 四角型テストピース 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個 |
| 超硬WC材 丸型テストピース 形状：Ø25x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKH51材 四角型テストピース 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKH51材 丸型テストピース 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD11材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD11材 丸型テストピース 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD61材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SUJ2材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SUJ2材 丸型テストピース 形状：φ20x5mm（±0.5mm） 10個 |
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簡単に研磨面の観察、測長が出来ます。
※パソコンは付属しておりません。
■調光機能付き同軸落射照明により光反射率の高い金属等の観察には最適です。
通常のリング照明ではハレーションが起こりやすい金属、樹脂、シリコンウェハーなど、反射率の高い対象物、銀色にメッキされたシールやフィルムなどの表面観察に適しています。
■光学6倍比ズームレンズにより65倍から390倍で観察が可能です。
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| 65倍にて観察したDLC研磨面 | 390倍にて観察したDLC研磨面 |
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■500万画素CMOS撮像素子採用 ■2点測長が出来るソフトウェアが標準装備 ■租微動付スタンドにより高倍域でも容易に ピントを合わせることが出来ます。 |
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トータル倍率 |
65倍～390倍(付属の1.5倍補助レンズ使用時) |
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カメラ |
接続 |
USB2.0接続 |
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画素数 |
500万画素 |
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解像度 |
2592×1944(4fps) |
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照明方式 |
調光機能付き同軸照明方式 |
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ソフトウェア |
静止画の保存(JPEG/BMP形式選択可能) |
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構成 |
・USBカメラ |
・同軸照明付高倍率レンズ |
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電源 |
AC100V 50/60Hz |
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寸法 |
W400×D300×H320mm(突起物は含まず) |
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重量 |
１０kg |
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■オプション
| ■マルチアングルスタンド | ■2.0倍補助レンズ | ■高機能計測ソフト |
| あらゆる方向からの観察が可能なマルチアングルスタンドです。 角度を変えても同じ場所を観察しながら、最大90度まで傾斜可能 |
標準で付属している1.5倍補助レンズと交換することによりトータル倍率86倍～520倍で観察することが出来ます。 | 3円指定で確定する円の直径を測定することが出来ます。 |
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ナノインデンテーション法は、圧子の押し込み荷重と深さを連続的に測定し、顕微鏡像ではなく、押し込み深さと荷重の曲線から硬さ(インデンテーションハードネス)やヤング率を算出する方法です。
薄膜の硬さ試験において、従来法であるマイクロビッカースやヌープ試験を適用した場合、圧子の押し込み深さが大きいため測定結果に基板の硬さが影響し薄膜自身の硬さがわからないことがあります．
基板硬さの影響を抑えるためには、一般的に押し込み深さを膜厚の10 ％以下（ただし、基板材質と膜特性による）にする必要があると言われています．そのためナノインデンテーション（Nanoindentation）法が開発され、10 μm以下の薄膜の硬度測定も可能となりました．
そして2002年には、ISO14577としてナノインデンテーション法のドラフトが作成され世界的に認知が広まっています．
ナノインデンテーション法におけるインデンテーション硬度のビッカース硬度への換算式がISO14577-1のAnnex Fに記載されています．ナノインデンテーション法によるビッカース硬度測定においては、深さから投影接触面積を計算するのに対し、従来のビッカース硬さ試験法においては、顕微鏡により圧痕面積を計測します．
ビッカース試験法では、圧痕周辺部の盛り上がりや沈み込みが測定結果に影響するので、ナノインデンテーション法によるビッカース硬度とビッカース試験法によるビッカース硬度の値に差がでることもあります．
どの試験方法の硬さであるのか、又は換算値であるのかを注意して比較する必要があります．
インデンテーション硬さH ITは、投影接触面積A pと最大荷重F maxから以下の様に示される。A pは、理想的形状の圧子として計算する場合と標準片（主にFused Silica）により実際に使用する圧子ごとに補正曲線を作成しそこから算出する場合があります。
理想的先端形状のベルコビッチ圧子を用いる場合、インデンテーション硬さ（H IT）は、
以下のようになります。
実際には、圧子先端の校正カーブを基準片により算出して補正をかけています。
【参考文献】
(株)リアライズ理工センター,（2006）「生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術」草野英二編,第7章機械的特性、p220-223,ナノテック(株)平塚傑工部分執筆
ENT-2100 外観
【推奨試料サイズ】
高さ10～15mm以下、φ30mm以下
（特殊治具等対応した場合は、高さ30～35mm、φ30mm以下も可能）
測定の位置決めも可能です。
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TiN、SiC、DLC硬質薄膜の密着強度を評価します。
機械部品、切削工具、金型工具などの評価にご利用いただいております。
■超薄膜スクラッチ試験の特徴
摩擦力の変化から膜の剥離点を検出します。
30kgまで荷重を印加できます。
AEセンサーを追加できます(オプション)。
メーカー:株式会社レスカ
ナノテック株式会社では、CSR-1000を用いた受託測定及び試験機の
ご紹介を行なっております。ナノテックにお問い合わせ頂きますと、
試験機本体ご購入時にR200μmのダイヤモンド圧子を追加で2本プレゼント致します。
■ダイヤモンド圧子を2個プレゼント
【消耗品】
スクラッチ試験用
国産ダイヤモンド圧子 0.2mｍ（200μｍ）
全品検査済み。
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記憶媒体、半導体、金型、光学部品等に利用される各種薄膜の界面における密着性を評価します。
JIS R 3255に準拠したマイクロスクラッチ法で評価を行います。
■超薄膜スクラッチ試験の特徴
荷重制御機能により曲面の測定が可能です。
一定荷重での測定も可能です。
短時間で測定が可能です。(1測定 1～2分程度)
防振台が不要です。
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spectroscopic ellipsometer
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プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。 イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。 |
■装置仕様
| 測定方式 | 液晶変調方式 |
| 光源 | ハロゲンランプおよび青色LED |
| 波長範囲 | 440nm-1000nm |
| 分光器 | 迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
| 検出器 | 高感度・高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
| 入射角度 | 70度固定 （66度固定、61.5度固定も選択可） |
| スポットサイズ | 500μm X 500μm; 250μm X 500μm; （ 70度入 射時） 250μm X 250μm; 70μm X 250μm; 100μm X 100μm; 50μm X 60μm; 25μm X 60μm ※いずれも長方形 |
| サンプルステージ | XYZ電動可変、真空吸着機構 X軸：max. 200mm Y軸：max. 200mm Z軸：max. 40mm |
| サンプル観察系 | イメージングシステム MyAutoView – ソフトウェア上にてスポット位置確認 -カラー 2次元CCD – 照射範囲：2mm X 6mm@70度入射 |
| 操作ＰＣ | デスクトップＰＣ、ＴＦＴモニタ |
| ソフトウェア | 分光エリプソメータ測定およびデータ解析用 DeltaPsi2 |
| 装置寸法（本体） | W 760mm X D 572mm X H 592mm |
■オプション
| 光源 | Xeランプユニット （100μm以下のスポット使用時に推奨） |
| アクセサリ | ＜サンプルセル＞ 液体測定用、電気化学用 ＜サンプルステージ/ホルダ＞ 透過測定用、回転ステージ、曲面サンプル用 プラスチックフィルム用、マルチサンプラー |
■必要ユーティリティ
| 電源 | AC100V±5%未満 （標準消費電力：200W） |
メーカー：堀場製作所
ナノテックはDLC評価試験装置の販売店です。
DLC Analyzer用のDLC基準片の販売を行なっております。
こちらをご参照下さい
DLCの光学特性と硬さの相関について、 「Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol. 7, No. 2, 2013」に論文が掲載されました。
タイトル:「Correlation between Optical Properties and Hardness of Diamond-Like Carbon Films」
リンク先:https://www.jstage.jst.go.jp/article/jmmp/7/2/7_187/_pdf
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※写真のアクリルカバーはオプションです。
オートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定できます。
■試料調整が不要
断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。
■多層膜の評価が可能
薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。
■適用事例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜
この試験機は、研磨痕の測長した結果を元に、
ISO20423 Determination of coating thickness by crater grinding method に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。 なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
 |
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| はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 | 次に、作成された研磨痕を観察し、 上図のX とY の距離を測長します。 |
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測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |
●仕様
◆シャフト回転速度:100 ～ 3,000 rpm
◆設定可能な回転時間: 1 秒 ～ 60 分
◆最大試料サイズ: φ40mm
※オプションで、アクリルカバーをつけることができます。
ダイヤモンドスラリーとボール
| 日本製ボールSUJ2材 | φ20mm |
| 日本製ボールSUJ2材 | φ30mm |
| ダイヤモンドスラリー | 粒径1.0μｍ（100cc） |
※純国産（日本製）ナノテック製
TiNコーティングテストピース
• ボール直径.：30 mm
• モーター速度：400 rpm
• テスト時間：30 sec
• スラリーの種類：ダイヤモンドスラリー1.0 μm
