各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
消耗品
ダイヤモンドスラリーとボール
| ボールSUJ2材 | φ20mm | |
| ボールSUJ2材 | φ30mm | |
| ダイヤモンドスラリー | 粒径1.0μm（100cc） | |
| SUJ2材ボールセット | φ10・15・20・25・30mm各1個 | 新製品 |
消耗品
スクラッチ試験用
国産ダイヤモンド圧子 0.2mm（200μm）
全品検査済み。
Anton Paar 社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
CSM 社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
CSEM社製Revetest スクラッチ試験機 取り付け可
スクラッチ試験用圧子の検品(先端の摩耗状態の確認)に使用します。
○膜種:DLC(約1μm)
○基材:NK4(SKH4相当)
○サイズ:8 ×12×160mm
表面仕上：ダイヤモンドラッピング Ra<0.3μm 
１．【超硬合金】 販売単位10個入り/1ケース 形状：13×13×5mm
材種名：ＴＨ１０（Ｋ１０種相当品）硬度：92.0HRA
粒子径：1.3μm抵抗力：160kg/ｍｍ2
２．【ＳＫＨ５１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：13×13×5mm Rz≦0.2μm
硬度：62～64HRC
３．【ＳＫＤ１１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：58～61HRC
４．【ＳＫＤ６１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：50～53HRC
５．【ＳＵＪ２】 販売単位10個入り/1ケース 形状：12×12×5mm
硬度：58～60HRC
表面仕上：ダイヤモンドラッピング Ra<0.3μm 
１．【超硬合金】 販売単位10個入り/1ケース形状：φ25×5mm
材種名：ＴＨ１０（Ｋ１０種相当品）硬度：92.0HRA
２．【ＳＫＨ５１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm Rz≦0.2μm
硬度：61～64HRC
３．【ＳＫＤ１１】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm
硬度：58～61HRC
４．【ＳＵＪ２】 販売単位10個入り/1ケース 形状：φ20×5mm Rz≦0.2μm
硬度：58～60HRC
| 品名 |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.8mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.4mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.2mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.1mm |
| スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子 R=0.05mm |
| スクラッチ試験用 DLC試験片 |
| アルミナAl2O3材 ボール Ø1/4” 100個 |
| アルミナAl2O3材 ボール Ø3/8” 10個 |
| シリコンカーバイドSiC材 ボール Ø6mm 5個 |
| 超硬WC材 ボール Ø6mm 20個 |
| SUJ2材 ボール Ø6mm 1000個 |
| SUS440C材 ボール Ø6mm 500個 |
| SUS304材 ボール Ø6mm 500個 |
| SUJ2材 ボール Ø20mm 1個 |
| SUJ2材 ボール Ø30mm 1個 |
| ダイヤモンドスラリー 粒径1.0μm 1本 |
| オートクレーター用先端シャフト |
| 超硬WC材 四角型テストピース 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個 |
| 超硬WC材 丸型テストピース 形状：Ø25x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKH51材 四角型テストピース 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKH51材 丸型テストピース 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD11材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD11材 丸型テストピース 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SKD61材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SUJ2材 四角型テストピース 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個 |
| SUJ2材 丸型テストピース 形状：φ20x5mm（±0.5mm） 10個 |
超硬合金TH-10は、優れた機械的特性を持つ材料として広く認識されています。この超硬合金は、高温環境下でも高い硬度と強度を維持する能力があり、特に切削工具や耐摩耗部品としての使用においてその性能を発揮します。超硬合金Th-10の主成分には、タングステン炭化物（WC）が含まれており、これにコバルト（Co）やその他の金属が添加されています。この組成により、超硬合金TH-10は非常に高い硬度と耐摩耗性を実現し、過酷な作業環境でもその特性を維持します。
超硬合金TH-10の高硬度は、通常の工具鋼よりもはるかに高く、長寿命を実現します。また、耐摩耗性に優れているため、切削工具やドリルビットなどの用途に最適です。高温硬さも特徴の一つであり、高温環境でも硬度を保つため、高速切削や高温作業においても信頼性の高い性能を提供します。さらに、強度と靭性も兼ね備えており、破損や欠けに強いため、長期間にわたって安定した性能を発揮します。
この超硬合金TH-10は、ドリルビット、エンドミル、フライスカッターなどの切削工具として広く使用されています。これらの工具は、高速切削や精密加工においてその優れた特性を発揮し、効率的な作業をサポートします。また、ダイスやパンチなどの耐摩耗部品にも適しており、高摩耗環境での使用においても優れた耐久性を提供します。さらに、熱間作業工具としても利用されており、高温環境での作業においても安定した性能を発揮します。
加えて、超硬合金TH-10は金型への利用にも非常に適しています。金型は高い精度と耐久性が求められるため、超硬合金Th-10の高硬度と耐摩耗性は最適な特性を提供します。これにより、金型の寿命が延び、メンテナンスの頻度が減少し、全体の生産効率が向上します。
SKH51は高速度工具鋼の一種で、高温環境下での硬度保持能力に優れた素材です。この素材は、高温環境下でも優れた硬度を維持する能力を持ち、特に切削工具としてその特性を発揮します。SKH51の主な特徴としては、耐摩耗性、耐熱性、および優れた靭性が挙げられます。これらの特性により、長期間の使用においてもその性能が劣化しにくいことが保証されています。
SKH51は、切削工具の材料として広く使用されており、具体的にはドリルビット、フライスカッター、ノコギリ刃などに利用されます。これらの工具は、高速切削や高負荷条件下での使用においても優れた性能を発揮します。さらに、成形工具や押出工具にも適しており、その用途は非常に広範です。
この素材の優れた性能は、その化学成分によるものです。炭素、タングステン、モリブデン、バナジウム、クロムといった元素が含まれており、これらが組み合わさることで、SKH51は高い硬度と耐摩耗性を実現しています。炭素は硬度を提供し、タングステンとモリブデンは耐摩耗性を向上させ、バナジウムは粒子の微細化を促進し、クロムは耐腐食性を向上させます。
熱処理においては、SKH51は焼入れと焼戻しのプロセスを経て、その優れた特性を引き出します。焼入れでは、高温で加熱し、適切な硬度を得るために急冷します。続いて行われる焼戻しでは、中温で加熱し、素材の靭性を確保するために行います。これにより、安定した性能を維持することができます。
SKD11は、冷間金型用合金工具鋼の一つであり、その特徴と性質から広く利用されています。SKD11は、SKS系と比較して炭素とクロムの含有量が高いため、耐摩耗性に優れています。主にゲージ、ネジ転造ダイス、金型刃物、フォーミングロール、プレス金型などに用いられることが多いです。
SKD11の特性として、焼入れ性が良好である点が挙げられます。これは、空冷や真空ガス冷焼入れに適しており、焼入れ歪みが非常に小さいため、精密な金型にも使用されます。SKS3と比較すると、SKD11は被削性が劣りますが、その耐摩耗性は大きな利点となります。
また、SKD11はSS400と比較してモリブデンを含むため、熱伝導率が低くなっています。このことから、SKD11は熱処理後の寸法安定性にも優れています。さらに、SKD11はクロム、モリブデン、バナジウムを含むため、ややコストが高くなりますが、SKD系の中では比較的入手しやすい材質です。
化学成分についてもSKD11はバランスが取れており、その成分組成により、耐摩耗性と靭性の両方を兼ね備えています。SKD11の熱処理条件についても、適切な温度と冷却方法により高い硬度を実現することが可能です。
SUJ2は、高炭素クロム軸受鋼として知られており、特に優れた耐摩耗性と硬度を持つ材料です。SUJ2は、ボールベアリング、ローラーベアリング、ニードルベアリングなどの軸受部品に広く使用されています。SUJ2の特性により、高い精度と信頼性を要求される機械部品での使用が一般的です。
SUJ2は、その化学成分により優れた機械的特性を実現しています。SUJ2には、炭素、クロム、マンガン、シリコンなどが含まれており、これらの元素が組み合わさることで、SUJ2は高い硬度と耐摩耗性を発揮します。炭素は硬度を提供し、クロムは耐食性と硬度を向上させます。これにより、SUJ2は高負荷条件下でも安定した性能を発揮します。
SUJ2のもう一つの重要な特性は、その熱処理特性です。SUJ2は、焼入れと焼戻しによってその機械的特性を最適化することができます。焼入れでは、SUJ2は高温で加熱され、急速に冷却されることで高い硬度を得ます。続いて行われる焼戻しでは、適切な温度で再加熱することで、SUJ2の靭性を向上させ、内部応力を緩和します。これにより、SUJ2は優れた耐久性と靭性を持つ材料となります。
SUJ2は、自動車産業や精密機械産業で広く使用されています。例えば、自動車のエンジン部品やトランスミッション部品、軸受などにSUJ2が使用され、その高い耐摩耗性と硬度により、長期間にわたって信頼性の高い性能を提供します。また、精密機械産業では、高精度を要求される機械部品にSUJ2が使用され、その安定した特性が高評価を得ています。
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
簡単に研磨面の観察、測長が出来ます。
※パソコンは付属しておりません。
■調光機能付き同軸落射照明により光反射率の高い金属等の観察には最適です。
通常のリング照明ではハレーションが起こりやすい金属、樹脂、シリコンウェハーなど、反射率の高い対象物、銀色にメッキされたシールやフィルムなどの表面観察に適しています。
■光学6倍比ズームレンズにより65倍から390倍で観察が可能です。
 |
 |
| 65倍にて観察したDLC研磨面 | 390倍にて観察したDLC研磨面 |
|
■500万画素CMOS撮像素子採用 ■2点測長が出来るソフトウェアが標準装備 ■租微動付スタンドにより高倍域でも容易に ピントを合わせることが出来ます。 |
 |
|
トータル倍率 |
65倍～390倍(付属の1.5倍補助レンズ使用時) |
||
|
カメラ |
接続 |
USB2.0接続 |
|
|
画素数 |
500万画素 |
||
|
解像度 |
2592×1944(4fps) |
||
|
照明方式 |
調光機能付き同軸照明方式 |
||
|
ソフトウェア |
静止画の保存(JPEG/BMP形式選択可能) |
||
|
構成 |
・USBカメラ |
・同軸照明付高倍率レンズ |
|
|
電源 |
AC100V 50/60Hz |
||
|
寸法 |
W400×D300×H320mm(突起物は含まず) |
||
|
重量 |
１０kg |
||
■オプション
| ■マルチアングルスタンド | ■2.0倍補助レンズ | ■高機能計測ソフト |
| あらゆる方向からの観察が可能なマルチアングルスタンドです。 角度を変えても同じ場所を観察しながら、最大90度まで傾斜可能 |
標準で付属している1.5倍補助レンズと交換することによりトータル倍率86倍～520倍で観察することが出来ます。 | 3円指定で確定する円の直径を測定することが出来ます。 |
 |
 |
 |
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
ナノインデンテーション法は、圧子の押し込み荷重と深さを連続的に測定し、顕微鏡像ではなく、押し込み深さと荷重の曲線から硬さ(インデンテーションハードネス)やヤング率を算出する方法です。
薄膜の硬さ試験において、従来法であるマイクロビッカースやヌープ試験を適用した場合、圧子の押し込み深さが大きいため測定結果に基板の硬さが影響し薄膜自身の硬さがわからないことがあります．
基板硬さの影響を抑えるためには、一般的に押し込み深さを膜厚の10 ％以下（ただし、基板材質と膜特性による）にする必要があると言われています．そのためナノインデンテーション（Nanoindentation）法が開発され、10 μm以下の薄膜の硬度測定も可能となりました．
そして2002年には、ISO14577としてナノインデンテーション法のドラフトが作成され世界的に認知が広まっています．
ナノインデンテーション法におけるインデンテーション硬度のビッカース硬度への換算式がISO14577-1のAnnex Fに記載されています．ナノインデンテーション法によるビッカース硬度測定においては、深さから投影接触面積を計算するのに対し、従来のビッカース硬さ試験法においては、顕微鏡により圧痕面積を計測します．
ビッカース試験法では、圧痕周辺部の盛り上がりや沈み込みが測定結果に影響するので、ナノインデンテーション法によるビッカース硬度とビッカース試験法によるビッカース硬度の値に差がでることもあります．
どの試験方法の硬さであるのか、又は換算値であるのかを注意して比較する必要があります．
インデンテーション硬さH ITは、投影接触面積A pと最大荷重F maxから以下の様に示される。A pは、理想的形状の圧子として計算する場合と標準片（主にFused Silica）により実際に使用する圧子ごとに補正曲線を作成しそこから算出する場合があります。
理想的先端形状のベルコビッチ圧子を用いる場合、インデンテーション硬さ（H IT）は、
以下のようになります。
実際には、圧子先端の校正カーブを基準片により算出して補正をかけています。
【参考文献】
(株)リアライズ理工センター,（2006）「生産現場・開発現場において役立つ薄膜作製技術」草野英二編,第7章機械的特性、p220-223,ナノテック(株)平塚傑工部分執筆
ENT-2100 外観
【推奨試料サイズ】
高さ10～15mm以下、φ30mm以下
（特殊治具等対応した場合は、高さ30～35mm、φ30mm以下も可能）
測定の位置決めも可能です。
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
TiN、SiC、DLC硬質薄膜の密着強度を評価します。
機械部品、切削工具、金型工具などの評価にご利用いただいております。
■超薄膜スクラッチ試験の特徴
摩擦力の変化から膜の剥離点を検出します。
30kgまで荷重を印加できます。
AEセンサーを追加できます(オプション)。
メーカー:株式会社レスカ
ナノテック株式会社では、CSR-1000を用いた受託測定及び試験機の
ご紹介を行なっております。ナノテックにお問い合わせ頂きますと、
試験機本体ご購入時にR200μmのダイヤモンド圧子を追加で2本プレゼント致します。
■ダイヤモンド圧子を2個プレゼント
【消耗品】
スクラッチ試験用
国産ダイヤモンド圧子 0.2mｍ（200μｍ）
全品検査済み。
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
記憶媒体、半導体、金型、光学部品等に利用される各種薄膜の界面における密着性を評価します。
JIS R 3255に準拠したマイクロスクラッチ法で評価を行います。
■超薄膜スクラッチ試験の特徴
荷重制御機能により曲面の測定が可能です。
一定荷重での測定も可能です。
短時間で測定が可能です。(1測定 1～2分程度)
防振台が不要です。
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
spectroscopic ellipsometer
 |
プッシュボタン感覚で、1nm～15μmの膜厚範囲の単層膜から多層膜までのサンプル測定が可能です。 波長450nm-1000nmをカバーしたデータ採取により、薄膜の膜厚、光学定数（屈折率、消衰係数）などの物質特性を精度良く測定します。 誘電体や有機薄膜など様々な材料の測定が可能です。 イメージングシステム“MyAutoViewTM”を搭載し、サンプル表面状態や測定スポットの厳密な位置確認が可能です。 |
■装置仕様
| 測定方式 | 液晶変調方式 |
| 光源 | ハロゲンランプおよび青色LED |
| 波長範囲 | 440nm-1000nm |
| 分光器 | 迷光を最小に抑えた小型スペクトログラフ（分解能：3nm以下） |
| 検出器 | 高感度・高安定リニアＣＣＤ（2048ピクセル） |
| 入射角度 | 70度固定 （66度固定、61.5度固定も選択可） |
| スポットサイズ | 500μm X 500μm; 250μm X 500μm; （ 70度入 射時） 250μm X 250μm; 70μm X 250μm; 100μm X 100μm; 50μm X 60μm; 25μm X 60μm ※いずれも長方形 |
| サンプルステージ | XYZ電動可変、真空吸着機構 X軸：max. 200mm Y軸：max. 200mm Z軸：max. 40mm |
| サンプル観察系 | イメージングシステム MyAutoView – ソフトウェア上にてスポット位置確認 -カラー 2次元CCD – 照射範囲：2mm X 6mm@70度入射 |
| 操作ＰＣ | デスクトップＰＣ、ＴＦＴモニタ |
| ソフトウェア | 分光エリプソメータ測定およびデータ解析用 DeltaPsi2 |
| 装置寸法（本体） | W 760mm X D 572mm X H 592mm |
■オプション
| 光源 | Xeランプユニット （100μm以下のスポット使用時に推奨） |
| アクセサリ | ＜サンプルセル＞ 液体測定用、電気化学用 ＜サンプルステージ/ホルダ＞ 透過測定用、回転ステージ、曲面サンプル用 プラスチックフィルム用、マルチサンプラー |
■必要ユーティリティ
| 電源 | AC100V±5%未満 （標準消費電力：200W） |
メーカー：堀場製作所
ナノテックはDLC評価試験装置の販売店です。
DLC Analyzer用のDLC基準片の販売を行なっております。
こちらをご参照下さい
DLCの光学特性と硬さの相関について、 「Journal of Solid Mechanics and Materials Engineering Vol. 7, No. 2, 2013」に論文が掲載されました。
タイトル:「Correlation between Optical Properties and Hardness of Diamond-Like Carbon Films」
リンク先:https://www.jstage.jst.go.jp/article/jmmp/7/2/7_187/_pdf
各種薄膜試験機の開発・製造・販売を行っております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
※写真のアクリルカバーはオプションです。
オートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、その研磨痕を光学顕微鏡などにより測長することで、膜厚を測定できます。
■試料調整が不要
断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。
■多層膜の評価が可能
薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。
■適用事例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜
この試験機は、研磨痕の測長した結果を元に、
ISO20423 Determination of coating thickness by crater grinding method に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。 なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
 |
 |
| はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 | 次に、作成された研磨痕を観察し、 上図のX とY の距離を測長します。 |
 |
測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |
●仕様
◆シャフト回転速度:100 ～ 3,000 rpm
◆設定可能な回転時間: 1 秒 ～ 60 分
◆最大試料サイズ: φ40mm
※オプションで、アクリルカバーをつけることができます。
ダイヤモンドスラリーとボール
| 日本製ボールSUJ2材 | φ20mm |
| 日本製ボールSUJ2材 | φ30mm |
| ダイヤモンドスラリー | 粒径1.0μｍ（100cc） |
※純国産（日本製）ナノテック製
TiNコーティングテストピース
• ボール直径.：30 mm
• モーター速度：400 rpm
• テスト時間：30 sec
• スラリーの種類：ダイヤモンドスラリー1.0 μm
