試験片・基準片
基準片・試験片
DLCコーティングを施した基準片、試験片の販売を行っております。
DLCコーティング基準片
DLC膜付きSiウエハ
| 用途 | 基礎材料実験消耗品用、測定基準片用 |
| 膜厚 | DLC（約100～300nm） |
| 取扱種 | 2inch Siウエハ DLC（a-C:H タイプⅣ） |
| 2inch Siウエハ DLC（a-C タイプⅢ） |
DLC基準片
| 用途 | スクラッチ用DLC基準片 |
| 膜厚 | DLC（約1μm） |
| 基材 | NK4（SKH4相当） |
| サイズ | 8 ×12×160mm |
※出荷検査のため、中心と両端にスクラッチ痕があります。
| 商品名 | 試験用基準片 |
| 用途 | 摩擦摩耗・硬さ・膜厚測定用 DLC基準片 |
| 膜厚 | DLC（約1μm） |
| 基材 | SUJ2 |
| 形状 | φ20×5mm Ra≦0.02 |
| オプション | 硬さデータ |
DLCコーティング試験片
ナノテックでは試験片へのDLCコーティングを請け負っております。弊社で販売している各種テストピースへのDLCコーティングも可能ですため、お気軽にお問合せください。
2017年08月09日
消耗品
消耗品
膜の評価試験関連用の各種消耗品を販売しております。
ダイヤモンド圧子
スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子
| 商品名 | 国産ダイヤモンド圧子 |
| 取扱種 | 先端径サイズ0.2mm（200㎛）全品DLC基準片による検査済み |
| 先端径サイズ0.8mm（800㎛）鏡面仕上げ | |
| 先端径サイズ0.4mm（400㎛）鏡面仕上げ | |
| 先端径サイズ0.1mm（100㎛）鏡面仕上げ | |
| 先端径サイズ0.05mm（50㎛）鏡面仕上げ | |
| 対応製品 | Anton Paar社製 レベテストスクラッチ試験機 (RST) |
| CSM社製 Revetest スクラッチ試験機 (RST) | |
| CSEM社製 Revetest スクラッチ試験機 (RST) | |
| レスカ社製 CSR1000 スクラッチ試験機 |
テストピース
四角型テストピース
| 商品名 | 四角型テストピース |
| 取扱種 | 超硬WC材 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個入り材種名：TH10（K10種相当品） 硬度：HRA92.0 |
| SKH51材 形状：13x13x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC62～64 | |
| SKD11材 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC58～60 | |
| SKD61材 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC50～53 | |
| SUJ2材 形状：12x12x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC58～60 |
丸型テストピース
| 商品名 | 丸型テストピース |
| 取扱種 | 超硬WC材 形状：Ø25x5mm（±0.5mm） 10個入り材種名：TH10（K10種相当品） 硬度：HRA92.0 |
| SKH51材 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC61～62 | |
| SKD11材 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC58～60 | |
| SUJ2材 形状：Ø20x5mm（±0.5mm） 10個入りRz≦0.2㎛ 硬度：HRC58～60 |
ボール
オートクレーター用ボール
| 商品名 | ボール |
| 取扱種 | SUJ2材 Ø20mm |
| SUJ2材 Ø30mm | |
| SUJ2材ボールセット Ø10、15、20、25、30mm 各1個 |
※オートクレーター以外の用途でもお使いいただけます
その他試験用ボール
| 商品名 | ボール |
| 取扱種 | アルミナAl203材 Ø1/4″ 100個入り |
| アルミナAl203材 Ø3/8″ 10個入り | |
| シリコンカーバイドSiC材 Ø6mm 5個入り | |
| 超硬WC材 Ø6mm 20個入り | |
| SUJ2材 Ø6mm 1000個入り | |
| SUS440C材 Ø6mm 500個入り | |
| SUS304材 Ø6mm 500個入り |
ダイヤモンドスラリー
ダイヤモンドスラリー
| 商品名 | ダイヤモンドスラリー |
| 取扱種 | 粒径1.0㎛（100cc） |
シャフト
オートクレーター用先端シャフト
対応製品ナノテック製 オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
| 商品名 | オートクレーター用先端シャフト |
新型カロテスト用シャフト
対応製品CSM社製 新型カロテスト
| 商品名 | 新型カロテスト用シャフト |
2016年01月19日
オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
ナノテック製 簡易膜厚測定用研磨機のオートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、研磨痕の測長した結果を元に、ISO26423に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。
なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
また、オートクレーターによる受託分析も提供しております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
ISO26423:Determination of coating thickness by crater grinding method
オートクレーターの特徴
試料調整が不要
断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。
多層膜の評価が可能
薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。
適用事例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜
測定原理 及び 原理
手順１
| はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。 |  |
手順２
| 次に、作成された研磨痕を観察し、上図のX とY の距離を測長します。 |  |
手順３
| 測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。 |  |
仕様
| シャフト回転速度 | 100 ～ 3,000 rpm | 設定可能な回転時間 | 1 秒 ～ 60 分 |
| 最大試料サイズ | φ40mm |
| 付属品 | ダイヤモンドスラリー受け皿 シャフト交換用スパナ２本 ボールセット ダイヤモンドスラリー 取扱説明書 |
| オプション | アクリルカバー |
消耗品
オートクレーターでの研磨に際し、下記が消耗品として必要となります。
・ダイヤモンドスラリー
・ボール
・オートクレーター用先端シャフト
弊社では各種消耗品も販売しております
2016年01月19日
