DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

試験片・基準片
基準片・試験片

DLCコーティングを施した基準片、試験片の販売を行っております。

DLCコーティング基準片

DLC膜付きSiウエハ

用途 基礎材料実験消耗品用、測定基準片用
膜厚 DLC(約100~300nm)
取扱種 2inch Siウエハ DLC(a-C:H タイプⅣ)
2inch Siウエハ DLC(a-C タイプⅢ)

DLC基準片

用途 スクラッチ用DLC基準片
膜厚 DLC(約1μm)
基材 NK4(SKH4相当)
サイズ 8 ×12×160mm

※出荷検査のため、中心と両端にスクラッチ痕があります。

商品名 試験用基準片
用途 摩擦摩耗・硬さ・膜厚測定用 DLC基準片
膜厚 DLC(約1μm)
基材 SUJ2
形状 φ20×5mm Ra≦0.02
オプション 硬さデータ

DLCコーティング試験片

ナノテックでは試験片へのDLCコーティングを請け負っております。弊社で販売している各種テストピースへのDLCコーティングも可能ですため、お気軽にお問合せください。

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2017年08月09日
消耗品
消耗品

膜の評価試験関連用の各種消耗品を販売しております。

ダイヤモンド圧子

スクラッチ試験用ダイヤモンド圧子

商品名 国産ダイヤモンド圧子
取扱種 先端径サイズ0.2mm(200㎛)全品DLC基準片による検査済み
先端径サイズ0.8mm(800㎛)鏡面仕上げ
先端径サイズ0.4mm(400㎛)鏡面仕上げ
先端径サイズ0.1mm(100㎛)鏡面仕上げ
先端径サイズ0.05mm(50㎛)鏡面仕上げ
対応製品 Anton Paar社製 レベテストスクラッチ試験機 (RST)
CSM社製 Revetest スクラッチ試験機 (RST)
CSEM社製 Revetest スクラッチ試験機 (RST)
レスカ社製 CSR1000 スクラッチ試験機

テストピース

四角型テストピース

商品名 四角型テストピース
取扱種 超硬WC材 形状:13x13x5mm(±0.5mm) 10個入り
材種名:TH10(K10種相当品) 硬度:HRA92.0
SKH51材 形状:13x13x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC62~64
SKD11材 形状:12x12x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC58~60
SKD61材 形状:12x12x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC50~53
SUJ2材 形状:12x12x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC58~60

丸型テストピース

商品名 丸型テストピース
取扱種 超硬WC材 形状:Ø25x5mm(±0.5mm) 10個入り
材種名:TH10(K10種相当品) 硬度:HRA92.0
SKH51材 形状:Ø20x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC61~62
SKD11材 形状:Ø20x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC58~60
SUJ2材 形状:Ø20x5mm(±0.5mm) 10個入り
Rz≦0.2㎛ 硬度:HRC58~60

ボール

オートクレーター用ボール

商品名 ボール
取扱種 SUJ2材 Ø20mm
SUJ2材 Ø30mm
SUJ2材ボールセット Ø10、15、20、25、30mm 各1個

※オートクレーター以外の用途でもお使いいただけます

その他試験用ボール

商品名 ボール
取扱種 アルミナAl203材 Ø1/4″ 100個入り
アルミナAl203材 Ø3/8″ 10個入り
シリコンカーバイドSiC材 Ø6mm 5個入り
超硬WC材 Ø6mm 20個入り
SUJ2材 Ø6mm 1000個入り
SUS440C材 Ø6mm 500個入り
SUS304材 Ø6mm 500個入り

ダイヤモンドスラリー

ダイヤモンドスラリー

商品名 ダイヤモンドスラリー
取扱種 粒径1.0㎛(100cc)

シャフト

オートクレーター用先端シャフト

商品名 オートクレーター用先端シャフト
対応製品 ナノテック製 オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機


新型カロテスト用シャフト
商品名 新型カロテスト用シャフト
対応製品 CMS社製 新型カロテスト

2016年01月19日
オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
オートクレーター 簡易膜厚測定用研磨機
ナノテック製 簡易膜厚測定用研磨機のオートクレーターは、回転する鋼球で試料を研磨し、研磨痕の測長した結果を元に、ISO26423に記載された計算方法を用いて膜厚を算出致します。
なお、本試験機で膜厚を測定するためには、別途研磨痕が測長できる顕微鏡等が必要となります。
また、オートクレーターによる受託分析も提供しております。
お客様のニーズに合わせた試験機の開発も行います。詳しくはお問い合わせください。
  ISO26423:Determination of coating thickness by crater grinding method

    ※写真のアクリルカバーはオプションです。

測定事例 TiNコーティングテストピース

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オートクレーターの特徴

試料調整が不要

断面作成のための、切断・研磨・樹脂包埋などの試料調整は不要です。
成膜された試料をそのまま測定できます。

多層膜の評価が可能

薬品処理などにより、膜の組成の変化を色調の違いとして変化させる事により、
各層毎の膜厚を評価できます。

適用事例

TiN、CrN、TiAlN、TiCN等、DLC、メッキ、これらの多層膜

測定原理 及び 原理

手順1

はじめにダイヤモンドスラリーを滴下し、回転する鋼球で試料表面を研磨します。

手順2

次に、作成された研磨痕を観察し、
上図のX とY の距離を測長します。

手順3

測長したX とY 及び、研磨で使用したボールの半径から、上記の式を元に膜厚を算出します。

仕様

シャフト回転速度 100 ~ 3,000 rpm
設定可能な回転時間 1 秒 ~ 60 分
最大試料サイズ φ40mm
付属品 ダイヤモンドスラリー受け皿
シャフト交換用スパナ2本
ボールセット
ダイヤモンドスラリー
取扱説明書
オプション アクリルカバー

消耗品

オートクレーターでの研磨に際し、下記が消耗品として必要となります。
・ダイヤモンドスラリー
・ボール
・オートクレーター用先端シャフト

弊社では各種消耗品も販売しております

消耗品について詳しくはこちら

2016年01月19日

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