DLCコーティング装置・表面処理・薄膜分析のナノテック株式会社

撥水性,低凝着性,低摩擦係数

フッ素（F）ドーピングとコーティング条件の工夫により、DLC膜に水を弾くテフロンのような撥水性を持たせました。この被膜は埼玉県産業技術センターと弊社との共同開発品です。

ICFにフッ素をドーピングすることにより、膜に水を弾く撥水性を付与することが可能となりました。

接触角の比較写真とフッ素含有量による硬さの変化を示します。

超硬合金	超硬合金＋ICF撥水コート1μm （※チャンピオンデータ）

超硬合金と同等な硬度（HV1,000）で、摩擦係数が低い（0.04～0.17）撥水性ICFの処理が可能になりました。これにより、金型汚れを防ぎ、生産性の向上に寄与します。

各種フッ素含有炭化水素ガスを用いて成膜を行うことでフッ素含有量を制御できるため、それぞれの状態に適した撥水性の付与が可能です。また、膜が深い黒色であるため、画像認識用ステージやガイドに反射防止膜としても利用されています。
従来は、プラスチック製品との癒着性が高く問題がありました。それらを解決することが可能となり、応用用途が広がっています。また、テフロンコーティング等に比べ硬く耐摩耗性にも優れているため、従来のテフロンコーティングからの置き換えも進むと考えられます。応用用途としては、プラスチック用金型への付着防止、部品への光反射防止（黒色） があります。

撥水性ICFのフッ素含有率と硬度

金型への粉・汚れ付着防止（撥水性）

部品への光反射防止（黒色）

※上記の値は、コーティング品の形状、材質等で若干の変動があります。